[发明专利]液体喷射头、液体喷射装置以及液体喷射头的制造方法

权利要求书

1.一种液体喷射头，具备：

侧壁，构成槽；

增强板，具有与所述槽连通的贯通孔，设置于所述侧壁的下方；

喷嘴板，具有开口于所述贯通孔的喷嘴，设置于所述增强板的与侧壁侧相反的一侧；

驱动电极，形成于所述侧壁的壁面；以及

盖板，具有将液体供给至所述槽的供给口和从所述槽排出液体的排出口，设置于所述侧壁的上方。

2.如权利要求1所述的液体喷射头，其中，所述增强板由可加工陶瓷构成。

3.如权利要求1或2所述的液体喷射头，其中，

所述盖板使所述侧壁的长度方向上的端部上表面露出而设置于所述侧壁的上表面，

在所述端部上表面形成有与所述驱动电极电连接的引出电极。

4.如权利要求3所述的液体喷射头，还具备在表面形成有布线电极的柔性基板，

所述柔性基板接合于所述端部上表面，所述布线电极与所述引出电极电连接。

5.如权利要求1或2所述的液体喷射头，具备封闭件，所述封闭件将比所述槽与所述供给口之间和所述槽与所述排出口之间的各连通部更靠外侧的槽堵塞。

6.如权利要求1或2所述的液体喷射头，其中，所述槽具有液体吐出用的吐出槽和不吐出液体的虚设槽，所述吐出槽和所述虚设槽交互地排列。

7.如权利要求6所述的液体喷射头，其中，所述供给口和所述排出口对所述吐出槽开口，而对所述虚设槽封闭。

8.一种液体喷射装置，具备：

权利要求1或2所述的液体喷射头；

使所述液体喷射头往复移动的移动机构；

将液体供给至所述液体喷射头的液体供给管；以及

将所述液体供给至所述液体供给管的液体罐。

9.一种液体喷射头的制造方法，具备：

槽形成工序，在包含压电体材料的基板的表面形成由侧壁构成的槽；

导电膜形成工序，将导电体沉积于所述基板而形成导电膜；

电极形成工序，对所述导电膜构图而形成电极；

盖板接合工序，将盖板接合于所述侧壁的上表面，所述盖板具有将液体供给至所述槽的供给口和从所述槽排出液体的排出口；

基板磨削工序，磨削所述基板的背面，使所述槽开口于背面侧；

增强板接合工序，将增强板接合于所述侧壁的下表面；以及

喷嘴板接合工序，将喷嘴板接合于所述增强板。

10.如权利要求9所述的液体喷射头的制造方法，具备在所述增强板接合工序之后磨削所述增强板的增强板磨削工序。

11.如权利要求10所述的液体喷射头的制造方法，具备在所述增强板磨削工序之前在所述增强板的与所述侧壁相反的一侧的表面形成锪孔部的增强板锪孔加工工序。

12.如权利要求9~11的任一项所述的液体喷射头的制造方法，具备在所述喷嘴板的所述供给口与所述排出口之间的位置形成吐出液体的喷嘴的喷嘴形成工序。

13.如权利要求9~11的任一项所述的液体喷射头的制造方法，其中，所述电极形成工序由在所述侧壁的壁面形成驱动电极并且在所述侧壁的长度方向上的端部上表面形成与所述驱动电极电连接的引出电极的工序构成。

14.如权利要求13所述的液体喷射头的制造方法，具备将形成有布线电极的柔性基板接合于所述端部上表面并将所述布线电极和所述引出电极电连接的柔性基板接合工序。