[发明专利]自动化料盘移运机台

权利要求书

1.一种自动化料盘移运机台，用于搬运承载多个待测晶片的料盘，其特征在于，该移运机台包含：

一进料匣，用以承载具有多个待测晶片的料盘；

一待测区，用以接收自该进料匣所输入的料盘；

一组分料匣，具有一暂置区及一堆叠区，该暂置区用以接收承置料盘，该堆叠区用以接收来自该暂置区的料盘并顺序堆叠；

一组次品收料匣，配置于该分料匣的相对侧，具有一暂置区及一堆叠区，该暂置区用以接收承置料盘，该堆叠区用以接收来自该暂置区的料盘并顺序堆叠；以及

一X-Y-Z三轴向搬移机构，移动于该待测区、分料匣及次品收料匣的范围间，该X-Y-Z三轴向搬移机构具有一组取放器，用以携行料盘由该待测区搬运至该分料匣的暂置区、该次品收料匣的暂置区。

2.如权利要求1所述的自动化料盘移运机台，其特征在于，邻接于该待测区位置设置有一缓冲区，用以放置料盘。

3.如权利要求1或第2所述的自动化料盘移运机台，其特征在于，该X-Y-Z三轴向搬移机构以X轴向作动于该待测区与该分料匣的暂置区间。

4.如权利要求1或第2所述的自动化料盘移运机台，其特征在于，该X-Y-Z三轴向搬移机构的取放器具有一伸缩机构，通过X-Y轴向作动使该取放器所携行的料盘直接搬移至该次品收料匣的暂置区。

5.如权利要求1所述的自动化料盘移运机台，其特征在于，该分料匣的暂置区及堆叠区之间具有一组导引装置，使该暂置区内料盘能够导入该分料匣的堆叠区。

6.如权利要求1所述的自动化料盘移运机台，其特征在于，该次品收料匣的暂置区及堆叠区之间具有一组导引装置，使该暂置区内料盘能够导入该次品收料匣的堆叠区。

7.如权利要求1所述的自动化料盘移运机台，其特征在于，邻接该次品收料匣还具有一缓冲位置可供放置至少一个空载料盘。