[发明专利]均一孔径结构的阳极氧化铝模板的制备方法

权利要求书

1.一种均一孔径结构的阳极氧化铝模板的制备方法，采用二次阳极氧化法，其特征在于完成步骤如下：

步骤1，先将铝片置于浓度为0.2～0.4mol/L的草酸溶液中，于20～60V的直流电压下阳极氧化至少2h，再将其置于58～62℃下的磷铬酸混合溶液中浸泡至少3h，得到中间产物；

步骤2，将中间产物置于温度为4～20℃、浓度为0.2～0.4mol/L的恒温草酸溶液中，于起始电压为20～60V、电压上升率为+0.1～25V/h、终止电压为25～65V的直流电压下进行阳极氧化，制得均一孔径结构的阳极氧化铝模板；

所述均一孔径结构的阳极氧化铝模板的厚度为2～100μm、直通孔的孔直径为均一孔径的20～80nm。

2.根据权利要求1所述的均一孔径结构的阳极氧化铝模板的制备方法，其特征是铝片的纯度为≥99.9％。

3.根据权利要求1所述的均一孔径结构的阳极氧化铝模板的制备方法，其特征是在将铝片进行阳极氧化之前，先将其交替置于乙醇和丙酮中超声清洗2～3次，再用去离子水对其反复清洗后晾干，之后，将其置于真空度为10^-5Pa、温度为500℃下退火5h。

4.根据权利要求1所述的均一孔径结构的阳极氧化铝模板的制备方法，其特征是步骤1中的阳极氧化时间为2～6h。

5.根据权利要求1所述的均一孔径结构的阳极氧化铝模板的制备方法，其特征是磷铬酸混合溶液由浓度为6wt％的磷酸和浓度为1.5wt％的铬酸配置而成。