[发明专利]正型感光性树脂组成物及使用该组成物形成图案的方法

说明书

技术领域

本发明是有关于一种正型感光性树脂组成物及其图案形成方法，特别是有关于一种使用在半导体集成电路元件、薄膜晶体管(thin-film transistor；TFT)的液晶显示元件或触控面板的制造中，经时安定性佳、膜厚均一性佳且分辨率高的正型感光性树脂组成物及其图案形成方法。 

背景技术

近年来由于半导体及液晶显示器产业蓬勃发展，个人计算机及显示器的需求扩大，技术突飞猛进，导致高分辨率的要求日益提高。为了达到上述要求，一般使用高邻位酚醛清漆树脂(high-ortho novolac resin)搭配感光剂做为正型感光性树脂组成物(例如日本公开特许2009-192571)。 

而在半导体集成电路元件、薄膜晶体管(TFT)的液晶显示元件或触控面板的制程中，为提高良率，上述组成物通常可借由调整感光剂的用量以得到较高的曝光宽容度(exposure latitude)，然而，往往却导致该感光性树脂组成物有经时安定性劣化的问题，且上述正型感光性树脂组成物在使用上存在有膜厚不均的问题。 

有鉴于此，亟需提出一种正型感光性树脂组成物，除可维持高分辨率的要求外，并可借以改善现有习知的正型感光性树脂组成物经时安定性不佳、膜厚不均等缺点。 

由此可见，上述现有的正型感光性树脂组成物在产品结构、制造方法与使用上，显然仍存在有不便与缺陷，而亟待加以进一步改进。因此如何能创设一种新的正型感光性树脂组成物及使用该组成物形成图案的方法，亦成为当前业界极需改进的目标。 

有鉴于上述现有的正型感光性树脂组成物存在的缺陷，本发明人基于从事此类产品设计制造多年丰富的实务经验及专业知识，并配合学理的运用，积极加以研究创新，以期创设一种新的正型感光性树脂组成物及使用该组成物形成图案的方法，能够改进一般现有的正型感光性树脂组成物，使其更具有实用性。经过不断的研究、设计，并经过反复试作样品及改进后，终于创设出确具实用价值的本发明。 

发明内容

本发明的主要目的在于，克服现有的正型感光性树脂组成物存在的缺陷，而提供一种新的正型感光性树脂组成物及使用该组成物形成图案的方法，所要解决的技术问题是使其提供一种经时安定性佳的正型感光性树脂组成物，该感光性树脂组成物至少包含酚醛清漆树脂(A)、邻萘醌二叠氮磺酸类的酯化物(B)以及酮醇系溶剂(C)。 

本发明的另一目的在于，克服现有的正型感光性树脂组成物存在的缺陷，而提供一种新的正型感光性树脂组成物及使用该组成物形成图案的方法，所要解决的技术问题是使其提供一种形成图案的方法，其利用上述正型感光性树脂组成物依序经预烤处理、曝光处理、显影处理及后烤处理，而与基板形成膜厚均一性佳及分辨率高的图案。 

本发明的再一目的在于，克服现有的正型感光性树脂组成物存在的缺陷，而提供一种新的正型感光性树脂组成物及使用该组成物形成图案的方法，所要解决的技术问题是使其提供一种薄膜晶体管阵列基板，其具有上述正型感光性树脂组成物形成的图案。 

本发明的还一目的在于，克服现有的正型感光性树脂组成物存在的缺陷，而提供一种新的正型感光性树脂组成物及使用该组成物形成图案的方法，所要解决的技术问题是使其提供一种液晶显示元件，其具备上述薄膜晶体管阵列基板，借此改善现有习知的正型感光性树脂组成物经时安定性不佳、膜厚均一性不佳及分辨率低等缺点，从而更加适于实用，且具有产业上的利用价值。 

本发明的目的及解决其技术问题是采用以下技术方案来实现的。依据本发明提出的一种正型感光性树脂组成物，其中包含：酚醛清漆树脂(A)；邻萘醌二叠氮磺酸类的酯化物(B)；以及酮醇系溶剂(C)；其中，该酚醛清漆树脂(A)含有18％至25％亚甲基键结于邻位-邻位上的高邻位酚醛清漆树脂(A-1)，且该高邻位酚醛清漆树脂(A-1)与该酮醇系溶剂(C)的使用量重量比(A-1)/(C)为0.1至2.0。 

本发明的目的及解决其技术问题还采用以下技术方案来实现。依据本发明提出的一种图案形成方法，其中由对一如权利要求1至7中任一权利要求所述的正型感光性树脂组成物依序施予一预烤步骤、一曝光步骤、一显影步骤及一后烤处理步骤而于基板形成图案。 

本发明的目的及解决其技术问题另外再采用以下技术方案来实现。依据本发明提出的一种薄膜晶体管阵列基板，其中包含一如权利要求8所述的方法形成的图案。 

本发明的目的及解决其技术问题另外还采用以下技术方案来实现。依据本发明提出的一种液晶显示元件，其中包含一如权利要求9所述的薄膜晶体管阵列基板。