[发明专利]正型感光性树脂组成物及使用该组成物形成图案的方法有效
| 申请号： | 201210195598.5 | 申请日： | 2012-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN102841504A | 公开（公告）日： | 2012-12-26 |
| 发明（设计）人： | 刘骐铭;施俊安 | 申请（专利权）人： | 奇美实业股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/039 | 分类号： | G03F7/039;G03F7/00;G02F1/1362;G02F1/1368;H01L27/12 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 | 代理人： | 寿宁;张华辉 |
| 地址： | 中国台湾台南*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 感光性 树脂 组成 使用 形成 图案 方法 | ||
1.一种正型感光性树脂组成物，其特征在于包含：
酚醛清漆树脂(A)；
邻萘醌二叠氮磺酸类的酯化物(B)；以及
酮醇系溶剂(C)；
其中，该酚醛清漆树脂(A)含有18％至25％亚甲基键结于邻位-邻位上的高邻位酚醛清漆树脂(A-1)，且该高邻位酚醛清漆树脂(A-1)与该酮醇系溶剂(C)的使用量重量比(A-1)/(C)为0.1至2.0。
2.如权利要求1所述的正型感光性树脂组成物，其特征在于该正型感光性树脂组成物更至少包含一染料(D)。
3.如权利要求1所述的正型感光性树脂组成物，其特征在于基于该酚醛清漆树脂(A)为100重量份，该高邻位酚醛清漆树脂(A-1)的使用量介于30重量份至100重量份。
4.如权利要求1所述的正型感光性树脂组成物，其特征在于基于该酚醛清漆树脂(A)为100重量份，该酮醇系溶剂(C)的使用量为50重量份至400重量份。
5.如权利要求1所述的正型感光性树脂组成物，其特征在于基于该酚醛清漆树脂(A)为100重量份，该染料(D)的使用量为0.1重量份至10重量份。
6.如权利要求1所述的正型感光性树脂组成物，其特征在于该高邻位酚醛清漆树脂(A-1)与该酮醇系溶剂(C)的使用量重量比(A-1)/(C)为0.2至1.8。
7.如权利要求1所述的正型感光性树脂组成物，其特征在于该高邻位酚醛清漆树脂(A-1)与该酮醇系溶剂(C)的使用量重量比(A-1)/(C)为0.3至1.5。
8.一种图案形成方法，其特征在于由对一如权利要求1至7中任一权利要求所述的正型感光性树脂组成物依序施予一预烤步骤、一曝光步骤、一显影步骤及一后烤处理步骤而于基板形成图案。
9.一种薄膜晶体管阵列基板，其特征在于包含一如权利要求8所述的方法形成的图案。
10.一种液晶显示元件，其特征在于包含一如权利要求9所述的薄膜晶体管阵列基板。
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