[发明专利]面向半导体制造设备的数据采集实现方法

说明书

技术领域

本发明属于半导体设备通信技术，具体地说是一种面向半导体制造设备的数据采集实现方法。

背景技术

随着半导体集成电路的生产制造向着300mm晶圆的生产方向发展，生产者对半导体制造设备的数据需求急剧增加，并且进一步要求设备支持一系列“设备工程能力”(Equipment Engineering Capabilities),如E-诊断，数据采集，配方管理，故障检测和分类，Run-To-Run控制等上层应用。而实现这些应用最重要的因素也是获取各种设备数据。因此，更多更高质量的数据是目前支持设备精确生产制造和优化工厂自动化生产所急切需要的。

目前半导体设备数据的采集主要是依靠SECS/GEM通信方法，但是随着300mm晶圆加工成为主流，SECS/GEM通信方法不能满足当前设备与用户数据采集的需求。SECS/GEM通信缺乏安全通信机制，不能保证通信安全；只能支持一个用户进行数据采集；只具备部分设备自我描述功能，获取设备数据很少，且质量不高。

发明内容

针对半导体生产者对半导体制造设备中更多更高质量数据信息的迫切需求，本发明要解决的技术问题是提供一种全面、高效的面向半导体制造设备的数据采集实现方法。

为解决上述技术问题，本发明采用的技术方案是：面向半导体制造设备的数据采集实现方法，包括以下步骤：

1）在客户端和半导体制造的设备端建立Web服务，并使用代理类实现客户端与设备端的连接；

2）客户端调用设备端的设备认证接口，客户端与设备端通过使用安全套接层协议进行客户安全认证，并创建SOAPHeader数据格式；

3）客户端根据自身关注的设备的运行状态信息，以SOAPHeader数据格式定义并发送数据采集计划；

4）客户端调用设备端提供的数据采集管理接口,根据数据采集计划状态机查询并控制数据采集计划；

5）客户端激活数据采集计划，使用委托代理方式处理数据采集事件；

6）设备端解析数据采集计划，查询内部数据库中的设备运行状态信息，编写数据采集报告；

7）设备端根据采集间隔时间指令定时地调用客户端的数据采集计划客户接口，将设备端的运行状态信息以SOAPHeader数据格式发送到对应的客户端。

所述在客户端和设备端建立Web服务，并使用代理类实现客户端与设备端的连接包括：

A1.当客户端向对应的设备端发送指令请求消息时，通过调用设备端代理类来调用相应的设备端，并将SOAP格式化的XML消息发送给对应的设备端。

A2.当设备端向客户端发送通知或数据报告时，通过调用客户端的代理类来调用客户端，发送数据消息。

所述使用安全套接层协议进行客户安全认证包括以下步骤：

B1.客户端给设备端发送一条单一的握手消息为ClientHello，包括该握手消息支持的算法列表和一个密钥产生过程用作输入的随机数；

B2.设备端给客户端发送一系列SSL握手消息，设备端发送的第一条消息为ServerHello，其中包括了它所选择的算法，接着再在Certificate消息中发送其证书，以及CertificateRequest；最后，设备端发送ServerHelloDone消息以表示这一握手阶段的完成。

B3.客户端对设备端的证书进行验证，并抽取设备端提供的公用密钥；然后，产生一个主密钥，并用设备端的公开密钥加密后传给设备端；接着发送CertificateVerity信息；最后发送Finished消息；

B4.设备端使用其私用密钥对共享密钥进行解密，获取主密钥，并返回给客户端Equipment ACK消息和Finished消息。

所述SOAPHeader数据格式的组成包括：会话识别码Session ID、服务设备识别码Equipment ID和客户识别码Client ID。

所述使用委托代理方式处理数据采集事件包括以下步骤：

C1.声明一个delegate对象，与设备端数据采集管理接口有相同的参数和返回值类型；

C2.创建delegate对象，并将设备端数据采集管理接口的函数名作为参数传入；

C3.在要实现异步调用的地方，通过步骤C2创建的对象来调用设备端数据采集管理接口函数。

本发明具有以下有益效果及优点：