[发明专利]面向半导体制造设备的数据采集实现方法

权利要求书

1.面向半导体制造设备的数据采集实现方法，其特征在于包括以下步骤：

1）在客户端和半导体制造的设备端建立Web服务，并使用代理类实现客户端与设备端的连接；

2）客户端调用设备端的设备认证接口，客户端与设备端通过使用安全套接层协议进行客户安全认证，并创建SOAPHeader数据格式；

3）客户端根据自身关注的设备的运行状态信息，以SOAPHeader数据格式定义并发送数据采集计划；

4）客户端调用设备端提供的数据采集管理接口,根据数据采集计划状态机查询并控制数据采集计划；

5）客户端激活数据采集计划，使用委托代理方式处理数据采集事件；

6）设备端解析数据采集计划，查询内部数据库中的设备运行状态信息，编写数据采集报告；

7）设备端根据采集间隔时间指令定时地调用客户端的数据采集计划客户接口，将设备端的运行状态信息以SOAPHeader数据格式发送到对应的客户端。

2.根据权利要求1所述的面向半导体制造设备的数据采集实现方法，其特征在于：所述在客户端和设备端建立Web服务，并使用代理类实现客户端与设备端的连接包括：

A1.当客户端向对应的设备端发送指令请求消息时，通过调用设备端代理类来调用相应的设备端，并将SOAP格式化的XML消息发送给对应的设备端。

A2.当设备端向客户端发送通知或数据报告时，通过调用客户端的代理类来调用客户端，发送数据消息。

3.根据权利要求1所述的面向半导体制造设备的数据采集实现方法，其特征在于：所述使用安全套接层协议进行客户安全认证包括以下步骤：

B1.客户端给设备端发送一条单一的握手消息为ClientHello，包括该握手消息支持的算法列表和一个密钥产生过程用作输入的随机数；

B2.设备端给客户端发送一系列SSL握手消息，设备端发送的第一条消息为ServerHello，其中包括了它所选择的算法，接着再在Certificate消息中发送其证书，以及CertificateRequest；最后，设备端发送ServerHelloDone消息以表示这一握手阶段的完成。

B3.客户端对设备端的证书进行验证，并抽取设备端提供的公用密钥；然后，产生一个主密钥，并用设备端的公开密钥加密后传给设备端；接着发送CertificateVerity信息；最后发送Finished消息；

B4.设备端使用其私用密钥对共享密钥进行解密，获取主密钥，并返回给客户端Equipment ACK消息和Finished消息。

4.根据权利要求1所述的面向半导体制造设备的数据采集实现方法，其特征在于：所述SOAPHeader数据格式的组成包括：会话识别码Session ID、服务设备识别码Equipment ID和客户识别码Client ID。

5.根据权利要求1所述的面向半导体制造设备的数据采集实现方法，其特征在于：所述使用委托代理方式处理数据采集事件包括以下步骤：

C1.声明一个delegate对象，与设备端数据采集管理接口有相同的参数和返回值类型；

C2.创建delegate对象，并将设备端数据采集管理接口的函数名作为参数传入；

C3.在要实现异步调用的地方，通过步骤C2创建的对象来调用设备端数据采集管理接口函数。