[发明专利]微机电混合陀螺仪的电路系统

说明书

技术领域

本发明涉及一种动力调谐陀螺仪的电路系统，特别是一种微机电混合陀螺仪的电路系统。

背景技术

陀螺仪是惯性导航与制导系统的重要器件之一，是用来测量物体相对于惯性空间转角或角速度的装置。陀螺仪具有自主导航特性，从而被广泛的应用于航海、航空、航天等领域。随着科技的发展，陀螺仪在矿山开采、石油勘探、海洋开发等领域也有广泛的应用。

微机械混合陀螺仪驱动电机通过驱动轴和扭杆带动陀螺转子高速旋转。扭杆的结构能保证陀螺仪在垂直于驱动轴有速度时，陀螺转子相对壳体产生较偏转信号，一方面通过上下电容极板检测偏转信号，来确定转子的偏角。另一方面，该信号通过静电力反馈产生力矩，作用陀螺转子，使陀螺转子回到平衡位置。由于扭杆的扭转刚度很小，必须通过外部加预载电压使其达到动力调谐平衡。扭杆是一种连接装置，各环通过扭杆连接。通过调节，使平衡环的负刚度、预载电压的正刚度和平衡环的正刚度达到平衡，就是动力调谐。

传统的微机械陀螺驱动环路采用模拟电路来实现，为了进一步改善陀螺的性能，须采用数字电路实现陀螺的外围信号处理。目前，包括本实验室在内的国内外相关机构已经进行了利用纯模拟电路的方法实现硅微陀螺仪外围信号处理电路的研究，并取得了一定的成果，但是随着硅微机械陀螺仪性能的进一步提高，结构的日益复杂以及自校准、温度补偿等技术的提出，模拟电路在复杂性、灵活性、误差特性等方面很难满足要求，同时，模拟电路还存在噪声、温度漂移、漏电流等多方面的问题，从而影响陀螺仪的性能。

发明内容

发明目的：针对上述现有技术存在的问题和不足，本发明的目的是为了克服模拟电路实现的硅微陀螺外围信号处理电路结构复杂，灵活性差，噪声和温度漂移等不足，提供一种简单易行，稳定性好，可移植性强的微机电混合陀螺仪的电路系统。

技术方案：为实现上述发明目的，本发明采用的技术方案为一种微机电混合陀螺仪的电路系统，所述微机电混合陀螺仪输出的电容信号经过前置接口的差分放大器和带通滤波器，接着依次经模数转换器、数字解调器、数字滤波器、解耦模块，再经数模转换器转换成模拟信号，该模拟信号经放大器放大后形成反馈电压，与载波和预载电压叠加，作用于微机电混合陀螺仪的反馈力矩器，形成再平衡回路。

进一步地，还包括校正模块，该校正模块的输入端连接滤波器的输出端，校正模块的输出端连接解耦模块的输入端。

进一步地，还包括正弦波发生器，所述正弦波发生器为微机电混合陀螺仪提供载波和数字解调器所需的正交信号。更进一步地，所述的正弦波发生器实现正弦信号和余弦信号的输出，其中正弦信号用于载波，且同时作为解调信号的输入，余弦信号用于解调信号的输入。

进一步地，所述微机电混合陀螺仪包括上电容极板、转子体和下电容极板，其中上电容极板的内环和下电容极板的内环输入载波、反馈电压和预载电压。更进一步地，所述上电容极板的外环和下电容极板的外环用于检测电容的变化。

进一步地，所述数字解调器采用步长可调的最小均方误差解调(LMSD)的方法进行解调，可以实现相位不匹配解调，解决了相敏检波结构复杂，需求的资源较多的问题。

进一步地，所述滤波器为低通滤波器。

进一步地，所述预载电压为直流高压。

有益效果：本发明的前置接口电路采用差分放大，电容极板加载同一载波，分别加于电容版内环的x轴和y轴。x轴和y轴的电容变化引起的电压互不影响，从而更好的测量x轴和y轴的敏感角速度。为了使检测电容的变化量尽可能大，采用内环加载波，预载电压和反馈电压，外环用于检测电容输出。本发明采用数字电路提供载波。为了使输出信号具有同相和正交信号，DDS的实现使用CORDIC算法。基于流水线CORDIC算法的正交函数发生器实现简单，占用的资源较少，特别适合在FPGA硬件上实现。

本发明最大化的采用了数字电路对信号进行处理，从而减少模拟电路存在噪声、温度漂移、漏电流等带来的误差。由于采用数字电路对信号进行处理，使数字电路各个模块稍加改动就可以移植到别的电路系统中，具有高灵活性。以往的混合陀螺的数字电路主要集中于解耦和校正网络，混合陀螺的数字电路系统还不完善，本发明提供了一种较为完善的数字电路系统。

本发明的前置接口电路采用差分放大电路，更好的抑制共模信号。电容极板加同一载波，解决以往用两个不同频率载波和设计两个频率不同的带通滤波器的麻烦。

本发明的载波采用基于流水线CORDIC算法的正交函数发生器，此算法具有简单易行，占用的硬件资源较少的优点外，还可以为LMSD解调提供正交信号，实现多路处理的数字电路优点。