[发明专利]微机电混合陀螺仪的电路系统

权利要求书

1.一种微机电混合陀螺仪的电路系统，其特征在于：所述微机电混合陀螺仪输出的电容信号经过前置接口的差分放大器和带通滤波器，接着依次经模数转换器、数字解调器、数字滤波器、解耦模块，再经数模转换器转换成模拟信号，该模拟信号经放大器放大后形成反馈电压，与载波和预载电压叠加，作用于微机电混合陀螺仪的反馈力矩器，形成再平衡回路。

2.根据权利要求1所述微机电混合陀螺仪的电路系统，其特征在于：还包括校正模块，该校正模块的输入端连接滤波器的输出端，校正模块的输出端连接解耦模块的输入端。

3.根据权利要求1所述微机电混合陀螺仪的电路系统，其特征在于：还包括正弦波发生器，所述正弦波发生器为微机电混合陀螺仪提供载波和数字解调器所需的正交信号。

4.根据权利要求1所述微机电混合陀螺仪的电路系统，其特征在于：所述微机电混合陀螺仪包括上电容极板、转子体和下电容极板，其中上电容极板的内环和下电容极板的内环输入载波、反馈电压和预载电压。

5.根据权利要求1所述微机电混合陀螺仪的电路系统，其特征在于：所述数字解调器采用步长可调的最小均方误差解调的方法进行解调。

6.根据权利要求1所述微机电混合陀螺仪的电路系统，其特征在于：所述数字滤波器为低通滤波器。

7.根据权利要求1所述微机电混合陀螺仪的电路系统，其特征在于：所述预载电压为直流高压。

8.根据权利要求4所述微机电混合陀螺仪的电路系统，其特征在于：所述上电容极板的外环和下电容极板的外环用于检测电容的变化。