[发明专利]工业排水的处理方法和处理装置

说明书

技术领域

本发明涉及从各种生产设备排出的工业排水的处理方法和处理装置。

背景技术

在各种工业中，从有限的水资源的节约和地球环境保全的观点出发，正在积极地进行工业排水的回收。另外，根据生产中的产品使用了各种各样的药品，因此必须进行排水处理。

例如，在半导体制造工厂中，为了半导体的蚀刻处理而使用大量的氢氟酸，含有氟离子的工业排水被大量地排出。

含有氟离子的工业排水的处理，历来进行的是以下方法，即，加入氯化钙、氢氧化钙、碳酸钙、硫酸钙等钙盐使排水中的氟离子不溶解，然后进行固液分离将氟从排水中除去。

由于氟离子的排出标准值为8mg/L以下，所以各制造商实施不超过该标准值那样的排水处理。

在专利文献1中，已公开如下含氟水的处理方法，即，在向含氟水中添加钙盐使氟形成氟化钙而进行沉淀分离的方法中，特征在于，基于该含氟水中的氟离子量和与钙产生难溶性盐的氟离子以外的离子量，设定上述钙盐的添加量。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2001－212574号公报

发明内容

发明要解决的课题

如果能够正确地把握工业排水中所含的氟离子等处理对象成分的浓度，则能够使处理药剂的使用量最适合化。例如，作为测定氟离子的测量仪器，有使用选择性地透过氟离子的氟化镧的离子电极方式的测量仪器。该测量仪器价格低、操作容易，被广泛用于排水处理的监视，但容易受排水中的阴离子或金属离子等共存成分的影响，很多时候实际的浓度和测量浓度产生乖离。只要是离子色谱法等精密分析，就能够正确地测量处理对象成分的浓度，但测量需要时间和劳力，在处理对象成分的浓度发生变动的情况下，不能立即对应。因此，目前存在如下问题，即，以过剩地添加处理药剂来满足排水标准值的方式进行处理，处理药剂的消耗成本和污泥处理成本增加。

因而，本发明的目的在于提供工业排水的处理方法和工业排水的处理装置，能够将处理药剂的使用量控制在所需最小限，并且对处理对象成分可靠地进行处理，经济地处理工业排水。

用于解决课题的方法

本发明提供一种工业排水的处理方法，对工业排水中所包括的处理对象成分用处理药剂处理后进行排水，其特征在于，包括：测量上述工业排水中的上述处理对象成分的浓度的工序；取得对上述处理对象成分浓度的测量结果带来影响的共存成分的浓度数据的工序；求得修正浓度的工序，上述修正浓度是基于上述共存成分的浓度对上述处理对象成分的测量浓度进行修正后的浓度；取得上述工业排水的流量和排水时间的数据的工序；基于上述处理对象成分的修正浓度和上述工业排水的流量及排水时间，计算出上述处理药剂的添加量的工序；和按上述算出的添加量添加上述处理药剂的工序。

根据本发明的工业排水的处理方法，对工业排水中的处理对象成分的测量浓度，基于对该测量结果带来影响的共存成分的浓度进行修正，基于其修正浓度和工业排水的流量及排水时间计算处理药剂的添加量，按算出的添加量添加处理药剂，由此将处理药剂的使用量控制在所需最小限，并且能够可靠地处理处理对象成分，能够进行经济的排水处理。

优选本发明的工业排水的处理方法的取得上述共存成分的浓度数据的工序，是通过取得作为上述工业排水之源的水溶液的配合数据和/或上述共存成分的测量数据而完成的；取得上述工业排水的流量和排水时间的数据的工序，是通过取得产生上述工业排水的生产工序的工艺数据而完成的。根据该方式，通过取得作为工业排水之源的水溶液的配合数据和/或共存成分的测量数据，对于容易变动的成分能够根据测量数据而求得，对于不易变动的成分能够由配合数据求得，所以能够简便迅速地求得共存成分的浓度。另外，通过取得产生工业排水的生产工序的工艺数据，能够简便迅速地求得工业排水的流量和排水时间。

本发明的工业排水的处理方法的求得所述修正浓度的工序优选如下所述那样完成，即，对每个共存成分预先求得修正率，对各共存成分的浓度乘以各自的修正率而计算出由该共存成分引起的误差量，计算出由各共存成分引起的误差量的总量，并根据该总量修正上述测量浓度。根据该方式，通过对每个共存成分预先求得修正率，能够迅速地求得由共存成分引起的修正量。

本发明的工业排水的处理方法，优选上述处理对象成分为氟离子，上述处理药剂为钙盐。