[发明专利]工业排水的处理方法和处理装置

权利要求书

1.一种工业排水的处理方法，对工业排水中所包含的处理对象成分用处理药剂处理后进行排水，其特征在于，包括：

测量所述工业排水中的所述处理对象成分的浓度的工序；

取得对所述处理对象成分浓度的测量结果带来影响的共存成分的浓度数据的工序；

求得修正浓度的工序，所述修正浓度是基于所述共存成分的浓度对所述处理对象成分的测量浓度进行修正后的浓度；

取得所述工业排水的流量和排水时间的数据的工序；

基于所述处理对象成分的修正浓度和所述工业排水的流量及排水时间，计算出所述处理药剂的添加量的工序；和

按所述计算出的添加量添加所述处理药剂的工序。

2.如权利要求1所述的工业排水的处理方法，其特征在于：

取得所述共存成分的浓度数据的工序，是通过取得作为所述工业排水之源的水溶液的配合数据和/或所述共存成分的测量数据而完成的，取得所述工业排水的流量和排水时间的数据的工序，是通过取得产生所述工业排水的生产工序的工艺数据而完成的。

3.如权利要求1或2所述的工业排水的处理方法，其特征在于：

求得所述修正浓度的工序是如下完成的，即，对每个共存成分预先求得修正率，对各共存成分的浓度乘以各自的修正率而计算出由该共存成分引起的误差量，计算出由各共存成分引起的误差量的总量，并根据该总量来修正所述测量浓度。

4.如权利要求1～3中任一项所述的工业排水的处理方法，其特征在于：

所述处理对象成分为氟离子，所述处理药剂为钙盐。

5.一种工业排水的处理装置，对工业排水中所包含的处理对象成分用处理药剂处理后进行排水，其特征在于，包括：

处理对象成分浓度测量装置，其测量所述工业排水中的所述处理对象成分的浓度；

取得对所述处理对象成分浓度的测量结果带来影响的共存成分的浓度数据的共存成分浓度数据取得机构；

取得所述工业排水的流量和排水时间的数据的取得机构；

向所述工业排水添加所述处理药剂的处理药剂添加机构；

运算装置，其基于所述共存成分的浓度修正所述处理对象成分的测量浓度，并且基于该修正后的浓度和所述工业排水的流量及排水时间，计算出所述处理药剂的添加量；和

控制装置，其接受来自该运算装置的信号，按所述计算出的添加量添加所述处理药剂。

6.如权利要求5所述的工业排水的处理装置，其特征在于：

所述共存成分浓度数据取得机构，由作为所述工业排水之源的水溶液的配合数据库和/或所述共存成分的测量装置构成，取得所述工业排水的流量和排水时间的数据的取得机构，由产生所述工业排水的生产工序的工艺数据库构成。

7.如权利要求5或6所述的工业排水的处理装置，其特征在于：

还具有对每个所述共存成分预先求得修正率的修正数据库，所述运算装置，对各共存成分的浓度乘以从所述修正数据库获得的各自的修正率，计算出由该共存成分引起的误差量，且计算出由各共存成分引起的误差量的总量，并根据该总量来修正所述处理对象成分的测量浓度，由此获得所述修正后的浓度。

8.如权利要求5~7中任一项所述的工业排水的处理装置，其特征在于：

所述工业排水是在半导体制造工序的蚀刻处理中产生的、含有氟离子的排水，所述处理药剂为钙盐，所述处理对象成分浓度测量装置是使用了选择性地透过氟离子的氟化镧的离子电极方式的简易型氟化物离子浓度计。