[发明专利]用于制造有机发光显示面板的装置和方法

说明书

相关申请的交叉引用

本申请要求2011年7月18日在韩国知识产权局提交的韩国专利申请No.10-2011-0071085的优先权和权益，该申请的全部内容通过引用合并于此。

技术领域

本发明实施例的方面涉及有机发光显示面板、用于制造有机发光显示面板的装置以及通过利用该装置制造有机发光显示面板的方法。

背景技术

一般而言，有机发光显示面板包括阳极、阴极以及介于阳极和阴极之间的发射层（EML）。

有机发光显示面板因为它们的广视角、高对比度和短响应时间的优点而作为下一代显示面板引起关注。

根据EML是由聚合物有机材料还是低分子有机材料形成，有机发光显示面板可进一步包括从由空穴注入层、空穴传输层、电子传输层和电子注入层组成的组中选择的至少一层。

为了显示有机发光显示面板的全色图像，EML被图案化。在低分子有机发光显示面板中，EML利用遮光板（shadow mask）被图案化，而在聚合物有机发光显示面板中，EML层利用喷墨印刷方法或激光诱导热成像（LITI）方法被图案化。LITI方法使EML能够被微图案化，可用于大面积，且可提供高分辨率图像显示。

发明内容

根据本发明实施例的方面，配置一种用于制造有机发光显示面板的装置和利用该装置制造有机发光显示面板的方法，通过该装置在高真空室中执行转移层的沉积工艺和激光转移工艺，而无需切断膜。

根据本发明实施例，一种用于制造有机发光显示面板的装置包括：多个室；沉积单元，被配置为将转移层形成在以卷对卷工艺供应至所述多个室内的膜上；以及激光热转移装置，被配置为将形成于所述膜上的所述转移层的图案转移到被供应至所述多个室中的室内的基板上。

所述多个室可包括维持在多级真空态下的真空室。

所述多个室中的室彼此可依次成直线放置。

所述装置可进一步包括连接至所述多个室中的高真空室的基板转移室，其中所述基板可从所述基板转移室被供应到所述高真空室内。

所述装置可进一步包括被放置在所述多个室的前方的洗涤室，其中所述洗涤室被配置为在空气环境或惰性环境下执行预处理工艺。

以卷对卷工艺供应的所述膜可沿水平或竖直方向供应。

所述膜可包括基底膜和形成于所述基底膜上的光热转换层，并且所述沉积单元可被配置为将所述转移层沉积在所述光热转换层上。

所述膜可沿水平方向供应，并且所述沉积单元可被放置在所述膜的下面且被配置为从所述膜的下面向所述膜的上部喷射转移层形成原材料。

所述膜可沿竖直方向供应，并且所述沉积单元可与所述膜间隔开，平行于所述膜布置，且被配置为沿水平方向将转移层形成原材料喷射在所述膜上。

所述装置可进一步包括托架以在所述托架上安装所述基板。

所述膜可沿水平方向供应，并且所述激光热转移装置可被放置在所述膜的上方且被配置为从所述膜的上方向所述膜的下部照射激光束。

所述膜可沿竖直方向供应，并且所述激光热转移装置可与所述膜间隔开，平行于所述膜布置，且被配置为沿水平方向将激光束照射在所述膜上。

所述装置可进一步包括放置在所述沉积单元和所述激光热转移装置之间的层压滚筒，其中所述层压滚筒被配置为将所述膜的上面形成有所述转移层的表面附接至所述基板。

所述装置可进一步包括靠近所述激光热转移装置放置的剥离滚筒，其中所述剥离滚筒被配置为将对其执行转移工艺的所述膜从所述基板剥离。

根据本发明另一个实施例，一种制造有机发光显示面板的方法包括：以卷对卷工艺将膜供应至多个室内；利用沉积单元在所述膜的表面上形成转移层；将基板从基板转移室转移至所述多个室中的室内；以及利用激光热转移装置将形成于所述膜上的所述转移层的图案转移至所述基板上。

所述方法可进一步包括在空气环境或惰性环境下、在被放置于所述多个室的前方的洗涤室中使所述膜经历预处理工艺。

所述多个室中的室可维持在多级真空态下，并且可在所述多个室中的高真空室中形成所述转移层并转移形成于所述膜上的所述转移层的图案。

所述高真空室可连接至所述基板转移室，并且可从所述基板转移室转移所述基板，以将形成于所述膜上的所述转移层的图案转移至所述基板上。

以卷对卷工艺供应的所述膜可包括基底膜和形成于所述基底膜上的光热转换层，并且在所述膜的表面上形成所述转移层可包括利用所述沉积单元在所述光热转换层上沉积所述转移层。