[发明专利]用于制造有机发光显示面板的装置和方法

权利要求书

1.一种用于制造有机发光显示面板的装置，该装置包括：

多个室，包括维持在多级真空态下的多个真空室；

沉积单元，被配置为在所述多个室中的高真空室中将转移层形成在以卷对卷工艺供应到所述多个室内的膜上；

连接至所述高真空室的基板转移室；以及

激光热转移装置，被配置为在所述高真空室中将形成于所述膜上的所述转移层的图案转移到从所述基板转移室被供应至所述高真空室内的基板上，

其中所述基板转移室维持在与所述高真空室所维持的环境相同的环境下，

其中所述沉积单元和所述激光热转移装置在同一腔室中，

其中所述高真空室维持在10^-6托以下的高真空环境下，

其中具有透过从所述激光热转移装置发出的激光束的开口的图案掩膜被布置于所述激光热转移装置和所述膜之间，使得所述激光束照射在所述膜上。

2.根据权利要求1所述的装置，其中所述多个室中的室彼此依次成直线放置。

3.根据权利要求1所述的装置，进一步包括被放置在所述多个室的前方的洗涤室，其中所述洗涤室被配置为在空气环境或惰性环境下执行预处理工艺。

4.根据权利要求1所述的装置，其中以卷对卷工艺供应的所述膜沿水平或竖直方向供应。

5.根据权利要求4所述的装置，其中所述膜包括基底膜和形成于所述基底膜上的光热转换层，并且其中所述沉积单元被配置为将所述转移层沉积在所述光热转换层上。

6.根据权利要求5所述的装置，其中所述膜能沿所述水平方向供应，并且所述沉积单元被放置在所述膜的下面且被配置为从所述膜的下面向所述膜的上部喷射转移层形成原材料。

7.根据权利要求5所述的装置，其中所述膜能沿所述竖直方向供应，并且所述沉积单元与所述膜间隔开，平行于所述膜布置，且被配置为沿所述水平方向将转移层形成原材料喷射在所述膜上。

8.根据权利要求1所述的装置，进一步包括托架以在所述托架上安装所述基板。

9.根据权利要求1所述的装置，其中所述膜能沿水平方向供应，并且所述激光热转移装置被放置在所述膜的上方且被配置为从所述膜的上方向所述膜的下部照射激光束。

10.根据权利要求1所述的装置，其中所述膜能沿竖直方向供应，并且所述激光热转移装置与所述膜间隔开，平行于所述膜布置，以及被配置为沿水平方向将激光束照射在所述膜上。

11.根据权利要求1所述的装置，进一步包括放置在所述沉积单元和所述激光热转移装置之间的层压滚筒，其中所述层压滚筒被配置为将所述膜的上面形成有所述转移层的表面附接至所述基板。

12.根据权利要求1所述的装置，进一步包括靠近所述激光热转移装置放置的剥离滚筒，其中所述剥离滚筒被配置为将对其执行转移工艺的所述膜从所述基板剥离。

13.一种制造有机发光显示面板的方法，该方法包括：

以卷对卷工艺将膜供应至多个室内，其中所述多个室中的室被维持在多级真空态下；

利用沉积单元在所述多个室中的高真空室中在所述膜的表面上形成转移层；

将基板从基板转移室转移至所述高真空室内；以及

利用激光热转移装置在所述高真空室中将形成于所述膜上的所述转移层的图案转移至所述基板上，

其中所述基板转移室维持在与所述高真空室所维持的环境相同的环境下，

其中所述沉积单元和所述激光热转移装置在同一腔室中，

其中所述高真空室维持在10^-6托以下的高真空环境下，

其中图案掩膜被布置于所述激光热转移装置和所述膜之间，

其中从所述激光热转移装置发出的激光束通过形成于所述图案掩膜中的开口照射在沉积有所述转移层的所述膜上。

14.根据权利要求13所述的制造有机发光显示面板的方法，进一步包括在空气环境或惰性环境下、在被放置于所述多个室的前方的洗涤室中使所述膜经历预处理工艺。

15.根据权利要求13所述的制造有机发光显示面板的方法，其中所述高真空室连接至所述基板转移室，并且从所述基板转移室转移所述基板，以将形成于所述膜上的所述转移层的图案转移至所述基板上。