[发明专利]全世代适用的真空贴合机及其工作方法

权利要求书

1.一种全世代适用的真空贴合机，在机台上主要设置包括移载装置、定位装置、涂胶装置、翻转装置以及至少一个真空贴合装置，其特征在于，所述机台的尺寸足够大以适合于全世代基板尺寸，所述移载装置具有可调节间距以适合于全世代基板尺寸的夹持头，所述翻转装置具有足够密的真空吸脚以适合于全世代基板尺寸，所述定位装置包括识别基板在机台上粗略位置的尺寸辨识系统以及对基板进行精细对位的标记位置辨识系统。

2.如权利要求1所述的全世代适用的真空贴合机，其特征在于，所述翻转装置能够控制吸真空脚的气流大小。

3.如权利要求1所述的全世代适用的真空贴合机，其特征在于，所述机台的尺寸适应于大于或等于第十世代的基板尺寸。

4.如权利要求1所述的全世代适用的真空贴合机，其特征在于，所述尺寸辨识系统包括供操作者手动输入基板尺寸的界面、以及设置于机台上的可以自动识别出基板的直角和边线的探测器，操作者手动输入基板尺寸后，所述尺寸辨识系统在控制屏幕上生成一个尺寸与所输入的基板尺寸相同的模拟框体，所述探测器自动识别出机台上的基板的直角和边线，所述尺寸辨识系统根据探测器识别出的直角或边线自动拟合模拟框体与机台上的基板的直角或边线，通过确定模拟框体的位置来确定基板在机台上的位置。

5.如权利要求1所述的全世代适用的真空贴合机，其特征在于，所述标记位置辨识系统包括对位CCD、以及供操作者手动输入基板上标记的准确位置的界面，所述对位CCD和真空贴合装置根据输入的标记位置信息移动到标记位置，并根据标记对基板进行精细对位。

6.一种全世代适用的真空贴合机的工作方法，其特征在于，包括：

步骤10、移载装置调节夹持头的间距以适合于基板尺寸；

步骤20、操作者手动输入基板尺寸，尺寸辨识系统在控制屏幕上生成一个尺寸与所输入的基板尺寸相同的模拟框体，机台上的探测器自动识别出机台上的基板的直角和边线，尺寸辨识系统根据探测器识别出的直角或边线自动拟合模拟框体与机台上的基板的直角或边线，通过确定模拟框体的位置来确定基板在机台上的位置；

步骤30、通过确定基板与机台的相对位置，确定了将要进行精细对位的基板区域，移动对位CCD及真空贴合装置到基板区域；

步骤40、在标记位置辨识系统中手动输入标记在基板的准确位置，根据输入的标记位置信息移动对位CCD和真空贴合装置到标记位置，根据标记对基板进行精细对位；

步骤50、精细对位完成后，贴合开始。

7.如权利要求6所述的全世代适用的真空贴合机的工作方法，其特征在于，所述全世代适用的真空贴合机在机台上主要设置包括移载装置、定位装置、涂胶装置、翻转装置以及至少一个真空贴合装置，所述机台的尺寸足够大以适合于全世代基板尺寸，所述移载装置具有可调节间距以适合于全世代基板尺寸的夹持头，所述翻转装置具有足够密的真空吸脚以适合于全世代基板尺寸，所述定位装置包括识别基板在机台上粗略位置的尺寸辨识系统以及对基板进行精细对位的标记位置辨识系统。

8.如权利要求6所述的全世代适用的真空贴合机的工作方法，其特征在于，还包括翻转装置调节吸真空脚的气流大小的步骤。

9.如权利要求6所述的全世代适用的真空贴合机的工作方法，其特征在于，所述基板为TFT基板或CF基板。

10.如权利要求6所述的全世代适用的真空贴合机的工作方法，其特征在于，所述全世代适用的真空贴合机的机台的尺寸适应于大于或等于第十世代的基板尺寸。