[发明专利]接近式曝光装置

权利要求书

1.一种接近式曝光装置，其特征在于，具有：

掩模保持部，其保持具有需要曝光的图案的掩模；

工件保持部，其保持作为被曝光件的工件；

工件驱动部，其驱动所述工件保持部；和

照射单元，其借助所述掩模向所述工件照射图案曝光用光，

在所述掩模和所述工件互相接近并以规定的曝光间隙对向配置的状态下，将所述掩模的图案曝光转印到所述工件上，

所述工件驱动部为具有定子和与所述定子对向配置的转子的直线电动机，并具有：

沿所述转子配置的转子侧致冷剂循环通路；

向所述转子侧致冷剂循环通路循环供给致冷剂的转子侧致冷剂供给装置；和

配置在所述转子侧致冷剂循环通路的入口和出口，用于检测所述转子侧致冷剂循环通路的入口附近和出口附近的所述致冷剂的温度的温度传感器，

基于所述转子侧致冷剂循环通路的入口附近和出口附近的所述致冷剂的温度执行所述直线电动机的温度管理，使得从所述直线电动机传递到所述工件的热量一定。

2.根据权利要求1所述的接近式曝光装置，其特征在于：

所述直线电动机包括：

第一直线电动机，其具有配设在固定在基台上的基座上的第一定子，和配设在能够沿水平面内的规定方向相对于所述基座移动的第一装载台上，并与所述第一定子对向配置的第一转子；和

第二直线电动机，其具有配设在所述第一装载台上的第二定子，和配设在能够沿与所述规定方向垂直的垂直方向相对于所述第一装载台移动的第二装载台上，并与所述第二定子对向配置的第二转子，

所述转子侧致冷剂循环通路具有：

沿所述第一转子配设在所述第一装载台上的第一转子侧致冷剂循环通路；和

沿所述第二转子配设在所述第二装载台上的第二转子侧致冷剂循环通路。

3.根据权利要求2所述的接近式曝光装置，其特征在于：

所述转子侧致冷剂循环通路还具有：

沿所述第一转子配设在所述第一装载台上的第三转子侧致冷剂循环通路；和

沿所述第二转子配设在所述第二装载台上的第四转子侧致冷剂循环通路。

4.根据权利要求2所述的接近式曝光装置，其特征在于：

所述转子侧致冷剂供给装置具有：

第一转子侧致冷剂供给装置，其用于向所述第一转子侧致冷剂循环通路循环供给所述致冷剂；和

第二转子侧致冷剂供给装置，其独立于所述第一转子侧致冷剂供给装置而配置，用于向所述第二转子侧致冷剂循环通路循环供给所述致冷剂。

5.根据权利要求4所述的接近式曝光装置，其特征在于：

所述转子侧致冷剂循环通路还具有：

沿所述第一转子配设在所述第一装载台上的第三转子侧致冷剂循环通路；和

沿所述第二转子配设在所述第二装载台上的第四转子侧致冷剂循环通路，

所述转子侧致冷剂供给装置还具有：

第三转子侧致冷剂供给装置，其用于向所述第三转子侧致冷剂循环通路循环供给所述致冷剂；和

第四转子侧致冷剂供给装置，其独立于所述第三转子侧致冷剂供给装置而配置，用于向所述第四转子侧致冷剂循环通路循环供给所述致冷剂。

6.根据权利要求1所述的接近式曝光装置，其特征在于：

所述转子侧致冷剂供给装置与所述接近式曝光装置隔开配置。

7.根据权利要求1所述的接近式曝光装置，其特征在于：

还具有：

沿所述定子配置的定子侧致冷剂循环通路；

向所述定子侧致冷剂循环通路循环供给致冷剂的定子侧致冷剂供给装置；和

配置在所述定子侧致冷剂循环通路的入口和出口，用于检测所述定子侧致冷剂循环通路的入口附近和出口附近的所述致冷剂的温度的温度传感器，

基于所述定子侧致冷剂循环通路的入口附近和出口附近的所述致冷剂的温度执行所述直线电动机的温度管理，使得从所述直线电动机传递到所述工件的热量一定。