[发明专利]LED封装中的陶瓷挡墙制造方法有效
申请号: | 201210166656.1 | 申请日: | 2012-05-25 |
公开(公告)号: | CN102769091A | 公开(公告)日: | 2012-11-07 |
发明(设计)人: | 南佶模;金东明;李忠硕;金荣基;河宗秀 | 申请(专利权)人: | 瑞声声学科技(深圳)有限公司;瑞声精密制造科技(常州)有限公司 |
主分类号: | H01L33/48 | 分类号: | H01L33/48 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 518057 广东省深圳*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | led 封装 中的 陶瓷 挡墙 制造 方法 | ||
1.一种LED封装中的陶瓷挡墙制造方法,其特征在于,该方法包括如下步骤:
(1)提供基板,在所述基板上贴附干膜光阻;
(2)对所述干膜光阻实施部分曝光形成挡墙图案;
(3)对干膜光阻进行光化学蚀刻,清除被曝光的部分,形成挡墙形状的凹槽;
(4)进行丝网印刷,在所述凹槽内填充陶土浆;
(5)对所述干膜光阻和陶土浆进行烘干,在陶土浆硬化后,剥离剩余的干膜光阻;
(6)对所述陶土浆进行高温烧结从而形成陶瓷挡墙。
2.如权利要求1所述的LED封装中的陶瓷挡墙制造方法,其特征在于:步骤(1)中的基板为陶瓷基板。
3.如权利要求1所述的LED封装中的陶瓷挡墙制造方法,其特征在于:步骤(4)中的陶土浆为感光性陶土浆。
4.如权利要求3所述的LED封装中的陶瓷挡墙制造方法,其特征在于:所述陶土浆含有白色玻璃陶瓷、分散剂、聚合物、单体、光起始剂以及溶剂,其中白色玻璃陶瓷占60~80wt%,分散剂、聚合物、单体、光起始剂以及溶剂共占20~40wt%。
5.如权利要求4所述的LED封装中的陶瓷挡墙制造方法,其特征在于:所述白色玻璃陶瓷为无机白色玻璃陶瓷,所述分散剂、聚合物、单体、光起始剂以及溶剂分别为有机分散剂、有机聚合物、有机单体、有机光起始剂以及有机溶剂。
6.如权利要求1或5所述的LED封装中的陶瓷挡墙制造方法,其特征在于:步骤(6)中的高温温度为600到900摄氏度。
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