[发明专利]一种前烘设备及其排气方法

权利要求书

1.一种前烘设备，应用于对基板进行烘干，其特征在于，包括：

由底板、外围框体和上盖板形成的腔体，所述外围框体的上端设置有排气孔；

在所述底板和外围框体之间填充有用于过滤气流中水分与灰尘的填充物；

在所述底板上设置有预设高度的内部框体，所述内部框体位于所述腔体内部，且在所述底板上界定出用于放置基板的区域；

其中，所述预设高度大于所述基板的厚度，以使得经由所述填充物进入所述腔体的气流在爬升所述预定高度后再从所述基板的上方通过，最终经所述排气孔排出。

2.如权利要求1所述的前烘设备，其特征在于，

所述外围框体为一矩形，且所述排气孔设置在所述矩形的至少一个边上。

3.如权利要求1所述的前烘设备，其特征在于，

所述填充物为戈尔特斯Gore-Tex薄膜。

4.如权利要求1至3任一项所述的前烘设备，其特征在于，

所述腔体为长方体形状，所述内部框体是由4段内部框架组装形成的矩形边框。

5.如权利要求4所述的前烘设备，其特征在于，还包括：

4个呈L形状的挡板，分别贴合于所述矩形边框的4个内角设置，用于阻挡气流从相邻的2段内部框架的连接间隙中进入。

6.如权利要求4所述的前烘设备，其特征在于，

所述4段内部框架包括正对基板进入方向的第一内部框架，且所述第一内部框架包括：

呈长条状的框架主体；

位于所述框架主体上方、间隔设置的多个突起平台，相邻的突起平台之间形成一空隙，所述空隙对应于送入基板的机器手臂。

7.如权利要求4所述的前烘设备，其特征在于，

所述内部框架通过一呈Z形状的固定机构，固定在所述底板上，其中，所述固定机构的底端与所述底板全固定连接，所述固定机构的顶端与所述内部框架的上表面半固定连接。

8.一种排气方法，应用于权利要求1至7任一项所述的前烘设备，所述方法包括：

利用风机动力，将前烘设备外部的气体经由所述填充物吸入所述腔体，以及通过所述排气孔将所述腔体内的气体排出所述腔体。

9.如权利要求8所述的排气方法，其特征在于，

仅在对基板进行前烘处理的过程中，启动所述风机。

10.如权利要求8所述的排气方法，其特征在于，

在对基板进行前烘处理的过程中以及在前烘处理完成之后的预定时间内，均启动所述风机，所述预定时间为20秒以内。

11.如权利要求10所述的排气方法，其特征在于，所述预定时间为4-16秒。