[发明专利]一种减少ALD工艺管路颗粒的方法

权利要求书

1.一种减少ALD工艺管路颗粒的方法，包括：进气管路、出气管路、气源瓶以及反应腔，所述进气管路与所述出气管路均与气源瓶连接，所述出气管远离气源瓶的一端连接反应腔，其特征在于，使所述气源瓶中注入反应前驱液体，所述进气管路连接气源瓶的一端向气源瓶底延伸，使进气管路的出气口位于所述反应前驱液体的液面之下，所述出气管路连接气源瓶的一端向气源瓶底延伸，使出气管路的出气口位于所述反应前驱液体的液面之上，所述出气管路外设有加热保护套。

2.根据权利要求1所述的减少ALD工艺管路颗粒的方法，其特征在于，所述加热保护套的加热温度为135度。

3.根据权利要求1所述的减少ALD工艺管路颗粒的方法，其特征在于，所述进气管路与所述气源瓶的连接处为密封方式连接。

4.根据权利要求1所述的减少ALD工艺管路颗粒的方法，其特征在于，所述出气管路与所述气源瓶以及反应腔的连接处为密封方式连接。

5.根据权利要求1所述的减少ALD工艺管路颗粒的方法，其特征在于，所述出水管路中设有净化气体管。