[发明专利]用于透明层隔离的系统和方法无效

专利信息
申请号: 201210152842.X 申请日: 2012-05-04
公开(公告)号: CN102809764A 公开(公告)日: 2012-12-05
发明(设计)人: N·V·凯尔卡;V·A·帕特瓦德翰;S·纳达拉贾;M·普雷斯顿 申请(专利权)人: 英特赛尔美国股份有限公司
主分类号: G01V8/14 分类号: G01V8/14;H01L25/16
代理公司: 上海专利商标事务所有限公司 31100 代理人: 毛力
地址: 美国加利*** 国省代码: 美国;US
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摘要:
搜索关键词: 用于 透明 隔离 系统 方法
【权利要求书】:

1.一种用于在电路中进行光学隔离的方法,所述方法包括:

将第一组件安装在衬底上;

将透明层沉积在所述第一组件和所述衬底上;

在所述第一组件附近的所述透明层中制造沟槽,其中所述沟槽从所述衬底的顶部表面延伸到所述透明层的顶部表面;以及

将不透明材料沉积在所述沟槽内。

2.根据权利要求1所述的方法,其中安装所述第一组件包括在所述第一组件与所述衬底之间形成电连接。

3.根据权利要求1所述的方法,其中所述第一组件是发光二级管。

4.根据权利要求1所述的方法,其进一步包括将第二组件安装在所述衬底上。

5.根据权利要求4所述的方法,其中所述第二组件是光电二极管。

6.根据权利要求1所述的方法,其中形成所述沟槽包括切割所述沟槽以使得所述沟槽在所述透明层的所述顶部表面附近的宽度大于在所述衬底的所述顶部表面的宽度。

7.根据权利要求6所述的方法,其中切割所述沟槽包括在所述沟槽附近形成伸出部分,其中所述伸出部分穿过所述透明层的一部分延伸并且从所述沟槽朝向所述第一组件延伸。

8.根据权利要求1所述的方法,其中所述沟槽延伸到所述衬底的一部分中。

9.根据权利要求1所述的方法,其中沉积在所述沟槽中的所述不透明材料的所述顶部表面与所述透明层的所述顶部表面齐平。

10.根据权利要求1所述的方法,其中将所述不透明材料在高温下沉积。

11.根据权利要求1所述的方法,其进一步包括:

将多个电路形成于所述衬底上;以及

将所述多个电路分离成单个电路。

12.一种用于在电路中进行光学隔离的方法,所述方法包括:

将透明层沉积在第一组件、第二组件以及衬底上,其中所述第一组件和所述第二组件位于所述衬底上;

将隔离沟槽形成于所述第一组件与所述第二组件之间的所述透明层中,其中所述沟槽穿过所述透明层延伸;

通过所述沟槽中不透明材料的沉积将所述第一组件与所述第二组件光学隔离;

将不透明层沉积于所述电路的所述顶部表面上;以及

将多个窗口形成于所述不透明层中,所述窗口允许光进入所述第一组件和所述第二组件之上的所述透明层内。

13.根据权利要求12所述的方法,其进一步包括:

将多个电路形成于所述衬底上;以及

将所述多个电路分离成单个电路。

14.根据权利要求12所述的方法,其中形成多个窗口包括:

将掩模施加于所述透明层上的区域内;

沉积所述不透明材料;以及

将所述掩模除去。

15.根据权利要求12所述的方法,其中使用液体模塑法和模塑法中的至少一种来沉积所述透明层。

16.根据权利要求12所述的方法,其中所述不透明材料用于形成所述不透明层。

17.根据权利要求12所述的方法,其中所述第一组件是光发射器。

18.根据权利要求12所述的方法,其中所述第二组件是光传感器。

19.一种具有透明层隔离组件的装置,所述装置包含:

衬底;

安装于所述衬底上的第一组件,所述第一组件被封闭于第一透明层中;

安装在所述衬底上的第二组件,所述第二组件被封闭于第二透明层中;以及

隔离屏障,其将所述第一组件与所述第二组件隔离,其中所述隔离屏障是填满不透明材料的沟槽,所述沟槽从所述衬底的顶部表面延伸到所述第一透明层和所述第二透明层的顶部表面,其中随着所述沟槽从所述衬底的所述顶部表面延伸,所述沟槽会变宽。

20.根据权利要求19所述的装置,其中所述隔离屏障进一步包含所述沟槽附近的伸出部分,其中所述伸出部分穿过所述透明层的一部分延伸并且从所述沟槽朝向所述第一组件延伸。

21.根据权利要求19所述的装置,其中所述衬底是不透明的。

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