[发明专利]一种提高关节臂式坐标测量机测量精度的方法

权利要求书

1.一种提高关节臂式坐标测量机测量精度的方法，其特征在于，该方法的步骤如下：

柱面电容传感器的阶梯形转子（1）大端与被测测量臂中的转轴（10）固接，阶梯形转子（1）随着被测测量臂中的转轴（10）一起转动；柱面电容传感器的定子（2）通过支承座（8）与被测测量臂的上一级测量臂（7）固接；柱面电容传感器的定子（2）内孔径向等分布置有四个径向电极（3），四个径向电极（3）分别与柱面电容传感器的阶梯形转子（1）小端构成四个径向电容；当被测测量臂中的转轴（10）在X方向发生径向跳动时，四个径向电容值会发生相应变化，测量四个径向电容值的变化能计算X方向的跳动，Y方向发生的跳动能同理计算；由此，能检测被测测量臂中的转轴（10）在X，Y两个方向的径向跳动δ_x，δ_y；靠近柱面电容传感器的阶梯形转子（1）大端的柱面电容传感器的定子端面，等分布置有四个端面电极（4），四个端面电极（4）分别与阶梯形转子构成四个端面电容；被测测量臂中的转轴（10）沿轴向的窜动会引起四个端面电容值发生相应变化，测量四个端面电容值的变化即能计算Z轴向窜动量δ_z；被测测量臂中的转轴（10）沿X轴发生转动时，通过四个端面电容值的变化，能计算得被测测量臂中的转轴（10）转动量ε_x，同理可计算得被测测量臂中的转轴（10）转动量ε_Y；由此，能检测被测测量臂中的转轴（10）的轴向窜动δ_z和绕X，Y两方向的转动ε_X，ε_Y。

2.根据权利要求1所述的一种提高关节臂式坐标测量机测量精度的方法，其特征在于：按照等效旋转的概念确定关节臂式坐标测量机测量臂五自由度运动误差量的补偿修正方法，对所述的X，Y两个方向的径向跳动δ_x，δ_y、Z轴向窜动量δ_z和X，Y两方向的转动ε_X，ε_Y进行补偿修正。