[发明专利]蒸镀装置以及蒸镀机台

权利要求书

1.一种蒸镀装置，适于对一待镀物进行蒸镀，该蒸镀装置包括：

载带载具，具有加热区，该待镀物位于该加热区上方并且适于依一进给方向移动，该载带载具包括：

加热轴杆，具有一表面，该加热轴杆适于依一轴向转动，该待镀物位于该加热轴杆的一侧；以及

载带，承靠该加热轴杆的该侧，该载带适于依该加热轴杆绕行，且该载带具有相对远离该加热轴杆的一承载面，用于承载一镀膜材料通过该加热区，以在该加热区内通过该加热轴杆来加热该镀膜材料，使该镀膜材料蒸发；以及

遮罩，设置于该加热区外围，且该遮罩具有开口，位于该加热区与该待镀物之间，被蒸发的该镀膜材料适于通过该开口而被镀制于该待镀物上。

2.如权利要求1所述的蒸镀装置，还包括辅助轴杆，该加热轴杆与该辅助轴杆实质上相互平行并且分别承靠该载带，该载带为一封闭式载带，绕行于该加热轴杆与该辅助轴杆之间。

3.如权利要求1所述的蒸镀装置，其中该载带为一连续的可挠带状物。

4.如权利要求3所述的蒸镀装置，其中该加热轴杆具有垂直于该轴向的一截面，且该截面为圆形。

5.如权利要求1所述的蒸镀装置，其中该载带为由多个片状物相互枢接而成的一履带，且相邻两片状物之间的一枢轴实质上平行于该轴向。

6.如权利要求5所述的蒸镀装置，其中该加热轴杆具有垂直于该轴向的一截面，且该截面为一正多边形，该正多边形的边长实质上等于各该片状物的宽度。

7.如权利要求1所述的蒸镀装置，其中该开口包括一开槽，该开槽依着该轴向由该载带载具的一端延伸至该载带载具的另一端。

8.如权利要求1所述的蒸镀装置，其中该遮罩包括两板件，该两板件对称设置于该加热区的相对两侧，且该两板件在该加热区上方保持一间隔，以形成该开口。

9.如权利要求8所述的蒸镀装置，其中各该板件垂直于该轴向的一截面为C形或L形。

10.如权利要求1所述的蒸镀装置，其中该遮罩包括冷却单元。

11.如权利要求10所述的蒸镀装置，其中该冷却单元包括贯穿该遮罩的多个孔道。

12.如权利要求11所述的蒸镀装置，其中该些孔道实质上平行于该轴向。

13.如权利要求11所述的蒸镀装置，还包括冷却介质，位于该些孔道内。

14.如权利要求10所述的蒸镀装置，其中该冷却单元包括位于该遮罩表面的多个冷却管。

15.如权利要求14所述的蒸镀装置，其中该些冷却管位于该遮罩用以面向该加热区的一侧。

16.如权利要求14所述的蒸镀装置，其中该些冷却管位于该遮罩用以背对该加热区的一侧。

17.如权利要求14所述的蒸镀装置，其中该些冷却管实质上平行于该轴向。

18.如权利要求14所述的蒸镀装置，还包括冷却介质，位于该些冷却管内。

19.如权利要求1所述的蒸镀装置，其中该待镀物的该移动方向实质上垂直于该轴向。

20.一种蒸镀机台，包括多个如权利要求1所述的蒸镀装置，其中该些蒸镀装置并排设置，用以对一待镀物进行蒸镀，而在该待镀物上形成相互堆叠的多个镀层。