[发明专利]用于直拉法制备单晶硅的籽晶夹持器及使用方法

权利要求书

1.用于直拉法制备单晶硅的籽晶夹持器，包括夹持器（1），在所述夹持器（1）的上方设置有籽晶轴联接装置（11）；其特征是：所述夹持器（1）内设置有上下贯通的空腔（23），所述空腔（23）下方设置有硅籽晶夹持口（22）；

所述夹持器（1）的侧壁上设置有至少一个的定位销孔（24），所述定位销孔（24）从左至右依次贯穿夹持器（1）的左侧壁、空腔（23）以及夹持器（1）的右侧壁；

相对应于定位销孔（24），在定位销孔（24）内设置有定位销（4），所述定位销（4）依次贯穿夹持器（1）左侧的定位销孔（24）、空腔（23）和夹持器（1）右侧的定位销孔（24）；

所述夹持器（1）的外侧壁上设置有定位销固定器，所述定位销固定器将定位销（4）与夹持器（1）固定。

2.根据权利要求1所述的用于直拉法制备单晶硅的籽晶夹持器，其特征是：所述定位销孔（24）的剖面为直角梯形，所述直角梯形的斜腰与直角腰的角度θ为0°~90°。

3.根据权利要求1所述的用于直拉法制备单晶硅的籽晶夹持器，其特征是：所述定位销孔（24）的剖面为矩形。

4.根据权利要求2所述的用于直拉法制备单晶硅的籽晶夹持器，其特征是：所述硅籽晶夹持口（22）的侧边与轴的夹角α为10°~30°。

5.根据权利要求4所述的用于直拉法制备单晶硅的籽晶夹持器，其特征是：所述硅籽晶夹持口（22）的侧边与轴的夹角α为15°。

6.根据权利要求5所述的用于直拉法制备单晶硅的籽晶夹持器，其特征是：定位销孔（24）的截面为矩形、圆或者多边形。

7.用于直拉法制备单晶硅的籽晶夹持器的使用方法，其特征是：硅籽晶（3）包括硅籽晶上部（31）、硅籽晶中部（32）和硅籽晶下部（33），在硅籽晶上部（31）上相对应于定位销孔（24）设置有可以对硅籽晶（3）进行上下调整的硅籽晶夹持孔（25）；

将硅籽晶上部（31）套装入空腔（23）中，硅籽晶中部（32）卡住硅籽晶夹持口（22），硅籽晶下部（33）露出在硅籽晶夹持口（22）的下方；

所述定位销（4）依次通过定位销孔（24）左侧、硅籽晶夹持孔（25）和定位销孔（24）右侧；

所述硅籽晶（3）通过硅籽晶夹持孔（25）与定位销（4）之间的空隙进行微调；

将硅籽晶（3）调整好位置后，插紧定位销（4）；

将定位销（4）通过固定装置与夹持器（1）相固定；

固定好硅籽晶（3）后，通过籽晶轴联接装置（11）将夹持器（1）与直拉法制造硅单晶的单晶炉内的籽晶轴相连接。