[发明专利]一种测试高纯管道吹扫效果的方法

权利要求书

1.一种测试高纯管道吹扫效果的方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤S1：根据特气管路中阀门分歧箱的布局，选择最末端的阀门分歧箱作为第一检测的测试点；

步骤S2：对特气管路吹扫后，进行各个测试点的第一检测；

步骤S3：若第一检测结果不合格，则依次循环重复步骤S1和步骤S2，直至第一检测结果合格；若第一检测结果合格，则抽检除已进行第一检测过的阀门分歧箱进行第二检测；

步骤S4：若第二检测结果不合格，则对该不合格管路进行吹扫，并在吹扫后对该不合格管路中所有阀门分歧箱进行第三检测，若第三检测结果不合格则再次对该不合格管路进行吹扫和第三检测，直至对该不合格管路中所有阀门分歧箱进行的第三检测结果合格；若第三检测的检测结果合格，则说明特气管路洁净度合格，吹扫工艺完成；若第二检测结果合格，则说明特气管路洁净度合格，吹扫工艺完成。

2.根据权利要求1所述的测试高纯管道吹扫效果的方法，其特征在于，采用高纯度的氮气对所述特气管路进行吹扫。

3.根据权利要求1所述的测试高纯管道吹扫效果的方法，其特征在于，步骤S3中抽检除已检测过的阀门分歧箱进行第二检测时的抽检率为10％。

4.根据权利要求3所述的测试高纯管道吹扫效果的方法，其特征在于，所述第一检测、第二检测和第三检测的检测因子均包括水份、氧份和颗粒。

5.根据权利要求4所述的测试高纯管道吹扫效果的方法，其特征在于，所述第一检测结果、第二检测结果或第三检测结果合格时，其结果中水份要小于10ppb、氧份要小于10ppb、颗粒小于1Pcs/ft³。

6.根据权利要求5所述的测试高纯管道吹扫效果的方法，其特征在于，所述颗粒为大于0.1um的颗粒。

7.根据权利要求1-6中任意一项所述的测试高纯管道吹扫效果的方法，其特征在于，所述特气管路为：不包含区域分配箱且末端只有一个阀门分歧箱、不包含区域分配箱且末端至少两个阀门分歧箱或包含有区域分配箱且末端只有一个阀门分歧箱类型的特气管路。