[发明专利]基板检查装置、基板检查方法和存储介质

权利要求书

1.一种基板检查装置，从照明部对载置于设置在机箱内的载置台的基板照射光，通过包括摄像元件的摄像部进行摄像，基于其摄像结果进行基板的检查，所述基板检查装置的特征在于，包括：

模式选择部，用于在检查模式和维护模式之间选择模式，所述检查模式以载置于所述载置台的基板为被摄体进行摄像来进行检查，所述维护模式用于确认照明部的照度；

导光部件，设置于所述机箱内，用于将所述照明部的光导向所述摄像元件；

判定部，对在维护模式执行时经由所述导光部件通过摄像元件取得的照明部的光的亮度是否在预先设定的容许范围内进行判定；和

报知部，用于当由所述判定部判定为所述亮度在所述容许范围外时，报知需要进行照明部的更换。

2.一种基板检查装置，从照明部对载置于设置在机箱内的载置台的基板照射光，通过包括摄像元件的摄像部进行摄像，基于其摄像结果进行基板的检查，所述基板检查装置的特征在于，包括：

模式选择部，用于在检查模式和维护模式之间选择模式，所述检查模式以载置于所述载置台的基板为被摄体进行摄像来进行检查，所述维护模式用于确认照明部的照度；；

导光部件，设置于所述机箱内，用于在所述维护模式执行时将所述照明部的光导向所述摄像元件；

放大部，为了即使在所述照明部的照度降低时也使检查结果稳定，对从摄像元件输出的亮度信号进行放大，并且其放大率可变；和

放大率调整部，在维护模式执行时，基于经由所述导光部件、摄像元件和所述放大部取得的照明部的光的亮度和预先设定的亮度，对所述放大率进行调整。

3.如权利要求2所述的基板检查装置，其特征在于，具有：

判定部，对所述放大率是否超过预先设定的容许值进行判定；和

报知部，用于当由所述判定部判定为放大率超过所述容许值时，报知需要进行照明部的更换。

4.如权利要求2或3所述的基板检查装置，其特征在于，具有：

存储部，存储所述已被调整的放大率和从更换所述照明部到决定所述放大率的期间；和

显示部，相关联地显示存储于所述存储部的放大率和所述期间。

5.如权利要求1～4中任一项所述的基板检查装置，其特征在于：

导光部件，在所述维护模式执行时将照明部的光导向所述摄像元件，在检查模式执行时不将照明部的光导向摄像元件。

6.如权利要求5所述的基板检查装置，其特征在于：

用于在维护模式执行时在载置台未载置基板时，进行通过导光部件向摄像元件的导光的光路，在检查模式执行时被载置于载置台的基板遮断。

7.如权利要求5所述的基板检查装置，其特征在于：

设置有驱动机构，其使导光部件相对于所述照明部在用于将来自该照明部的光导向摄像元件的第一位置和不将来自该照明部的光导向摄像元件的第二位置之间相对移动。

8.如权利要求1～7中任一项所述的基板检查装置，其特征在于：

所述导光部件由用于反射照明部的光将其照射到摄像元件的反射部件构成。

9.如权利要求1～8中任一项所述的基板检查装置，其特征在于：

所述维护模式在基板未位于所述照明部的光的照射区域时执行。

10.一种基板检查方法，其特征在于，包括：

从照明部对载置于设置在机箱内的载置台的基板照射光，通过包括摄像元件的摄像部进行摄像，基于其摄像结果进行基板的检查的工序；

通过设置于所述机箱内的导光部件，为了确认照明部的照度而将所述照明部的光导向所述摄像元件的工序；

对经由所述导光部件被摄像元件取得的照明部的光的亮度是否在预先设定的容许范围内进行判定的工序；和

当由所述判定部判定为所述亮度在所述容许范围外时，由报知部报知需要进行照明部的更换的工序。