[发明专利]正型感光性树脂组成物及使用该组成物形成图案的方法

说明书

技术领域

本发明是有关于一种正型感光性树脂组成物及其图案形成方法，特别是有关于一种使用在半导体集成电路元件、薄膜晶体管(thin-film transistor；TFT)的液晶显示元件或触控面板的制造中，经时安定性佳且分辨率高的正型感光性树脂组成物及其图案形成方法。 

背景技术

近年来由于半导体及液晶显示器产业蓬勃发展，个人计算机及显示器的需求扩大，技术突飞猛进，导致高分辨率的要求日益提高。为了达到上述要求，一般使用高邻位酚醛清漆树脂(high-ortho novolac resin)搭配感光剂做为正型感光性树脂组成物(例如日本公开特许2009-192571)。 

而在半导体集成电路元件、薄膜晶体管(TFT)的液晶显示元件或触控面板的工艺中，为提高良率，上述组成物通常可借由调整感光剂的用量以得到较高的曝光宽容度(exposure latitude)，然而，往往却导致该感光性树脂组成物有经时安定性劣化的问题。 

有鉴于此，亟需提出一种正型感光性树脂组成物，借以改善现有习知的正型感光性树脂组成物分辨率低且经时安定性不佳等缺点。 

由此可见，上述现有的正型感光性树脂组成物在方法、产品结构及使用上，显然仍存在有不便与缺陷，而亟待加以进一步改进。因此如何能创设一种新的正型感光性树脂组成物及使用该组成物形成图案的方法，实属当前重要研发课题之一，亦成为当前业界极需改进的目标。 

发明内容

本发明的目的在于，克服现有的正型感光性树脂组成物存在的缺陷，而提供一种新的正型感光性树脂组成物及使用该组成物形成图案的方法，所要解决的技术问题是使其提供一种经时定定性佳的正型感光性树脂组成物，该感光性树脂组成物至少包含酚醛清漆树脂(A)、邻萘醌二叠氮磺酸类的酯化物(B)、染料(C)以及溶剂(D)，非常适于实用。 

本发明的另一目的在于，克服现有的正型感光性树脂组成物存在的缺陷，而提供一种新型结构的正型感光性树脂组成物及使用该组成物形成图案的方法，所要解决的技术问题是使其提供一种形成图案的方法，其利用 上述正型感光性树脂组成物依序经预烤处理、曝光处理、显影处理及后烤处理，而与基板形成分辨率高的图案，从而更加适于实用。 

本发明的还一目的在于，克服现有的正型感光性树脂组成物存在的缺陷，而提供一种新的正型感光性树脂组成物及使用该组成物形成图案的方法，所要解决的技术问题是使其提供一种薄膜晶体管阵列基板，其具有上述正型感光性树脂组成物形成的图案，从而更加适于实用。 

本发明的再一目的在于，克服现有的正型感光性树脂组成物存在的缺陷，而提供一种新型结构的正型感光性树脂组成物及使用该组成物形成图案的方法，所要解决的技术问题是使其提供一种液晶显示元件，其具备上述薄膜晶体管阵列基板，借此改善现有习知的正型感光性树脂组成物经时安定性不佳及分辨率低等缺点，从而更加适于实用，且具有产业上的利用价值。 

本发明的目的及解决其技术问题是采用以下技术方案来实现的。依据本发明提出的一种正型感旋光性树脂组成物，其中包含：一酚醛清漆树脂(A)；一邻萘醌二迭氮磺酸类的酯化物(B)；一染料(C)；以及一溶剂(D)；其中，该酚醛清漆树脂(A)含有18％-25％亚甲基键结于邻位-邻位上的高邻位酚醛清漆树脂(A-1)。 

本发明与现有技术相比具有明显的优点和有益效果。由以上技术方案可知，本发明的主要技术内容如下：正型感光性树脂组成物包括酚醛清漆树脂(A)、邻萘醌二叠氮磺酸类的酯化物(B)、染料(C)以及溶剂(D)，以下析述。 

酚醛清漆树脂(A) 

本发明的酚醛清漆树脂(A)包含高邻位酚醛清漆树脂(A-1)，并可选择性包含其它酚醛清漆树脂(A-2)。上述的高邻位酚醛清漆树脂(A-1)一般由芳香族羟基化合物及醛类，在2价金属盐触媒存在下，于酸性(pH值为1至5)下经减压脱水后缩合而得。另可选择性再添加酸触媒进行脱水缩合反应，并除去未反应的单体，其中此脱水缩合反应可参阅日本专利文献特开昭55-090523号公报、特开昭59-080418号公报及特开昭62-230815号公报，此处不另叙述。