[发明专利]正型感光性树脂组成物及使用该组成物形成图案的方法无效
申请号: | 201210132628.8 | 申请日: | 2012-04-27 |
公开(公告)号: | CN102778816A | 公开(公告)日: | 2012-11-14 |
发明(设计)人: | 刘骐铭;施俊安 | 申请(专利权)人: | 奇美实业股份有限公司 |
主分类号: | G03F7/039 | 分类号: | G03F7/039;G03F7/004;G03F7/00;G02F1/1368 |
代理公司: | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 | 代理人: | 寿宁;张华辉 |
地址: | 中国台湾台南*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 感光性 树脂 组成 使用 形成 图案 方法 | ||
1.一种正型感光性树脂组成物,其特征在于其包含:
一酚醛清漆树脂(A);
一邻萘醌二叠氮磺酸类的酯化物(B);
一染料(C);以及
一溶剂(D);
其中,该酚醛清漆树脂(A)含有18%-25%亚甲基键结于邻位-邻位上的高邻位酚醛清漆树脂(A-1)。
2.如权利要求1所述的正型感光性树脂组成物,其特征在于其基于该酚醛清漆树脂(A)为100重量份,该高邻位酚醛清漆树脂(A-1)的使用量介于30重量份至100重量份。
3.如权利要求1所述的正型感光性树脂组成物,其特征在于其基于该酚醛清漆树脂(A)为100重量份,该高邻位酚醛清漆树脂(A-1)的使用量介于40重量份至100重量份。
4.如权利要求1所述的正型感光性树脂组成物,其特征在于其基于该酚醛清漆树脂(A)为100重量份,该高邻位酚醛清漆树脂(A-1)的使用量介于50重量份至100重量份。
5.如权利要求1所述的正型感光性树脂组成物,其特征在于其基于该酚醛清漆树脂(A)为100重量份,该染料(C)的使用量为0.1重量份至5重量份。
6.如权利要求1所述的正型感光性树脂组成物,其特征在于其该染料(C)含有选自于由酸性染料、碱性染料、直接染料、硫化染料、建染染料、萘酚染料、反应染料、分散染料及油溶性染料所组成的族群的至少一种染料。
7.一种图案形成方法,其特征在于其由对一如权利要求1至6中任一权利要求所述的正型感光性树脂组成物依序施予一预烤步骤、一曝光步骤、一显影步骤及一后烤处理步骤而于基板形成图案。
8.一种薄膜晶体管阵列基板,其特征在于其包含一如权利要求7所述方法形成的图案。
9.一种液晶显示元件,其特征在于其包含一如权利要求8所述的薄膜晶体管阵列基板。
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