[发明专利]一种吹扫净化方法及其装置

说明书

技术领域

本发明涉及特种气体供应系统技术领域，更具体地说，涉及一种吹扫净化方法，还涉及一种吹扫净化装置。

背景技术

特种气体，是指用于各种电子产品生产的薄膜气体、掺杂气体、外延气体、离子注入气体、刻蚀气体及工艺设备所使用的气体，按其性质分类，包括有可燃性气体、氧化性气体、腐蚀性气体、毒性气体、惰性气体等。大部分特殊气体在泄露后会对人员的生命健康造成威胁，并对环境造成污染，但是，在目前的技术条件下，还无法找到适当的替代物来取代在某些工艺过程中所使用到的具有危害性的特种气体，例如在薄膜、刻蚀及气相沉积工艺中，所使用到的三氯氢硅、四氯化硅等。

特种气体系统是指在用户现场的特种气体的储存、输送与分配全过程的设备、管道和部件的总称。

基于安全可靠及保护环境的需要，2007年开始，《特种气体系统工程设计规范》对特种气体系统在输送、吹扫、排气及辅助抽真空上进行了非常明确的规定。但是目前在半导体、光纤等领域所使用的特种气体系统，大多还是早期设计的产品，部分特种气体系统缺少《特种气体系统工程设计规范》所要求的吹扫、排气及辅助抽真空系统。如果要对这些不满足现行规范的特种气体系统进行维护或升级改造，由于设备内部可能残留有不易被系统自身吹扫干净的特种气体，因此在拆卸原有的管道、阀门等组件时，有特种气体泄漏的可能，泄露的特种气体会对操作人员人身造成伤害。其次，泄露的特种气体还容易腐蚀其他管道、阀门等，如果没有及时发现管道、阀门上的腐蚀部，可能造成用户产品品质的严重下降，甚至造成原有特种气体系统的报废。

因此，如何提供一种吹扫净化方法及其装置，以实现解决现有特种气体系统内部可能残留有不易被系统自身吹扫干净的特种气体的问题，成为本领域技术人员亟需解决的技术问题。

发明内容

有鉴于此，本发明提供一种吹扫净化方法及其装置，以实现将特种气体系统内残留特种气体吹扫净化的目的。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

一种吹扫净化方法，包括以下步骤：

步骤01)利用充入的氮气将待处理设备及管路中原有的特种气体排出；

步骤02)将处于预设压力的待处理设备及管道抽真空；

步骤03)利用充入的氮气使待处理设备及管道达到所设预设压力；

步骤04)多次重复步骤02)和步骤03)，至待处理设备及管道中的特种气体浓度符合要求。

优选地，在上述的吹扫净化方法中，步骤02)具体为，利用真空发生器将待处理设备及管道抽真空。

优选地，在上述的吹扫净化方法中，真空发生器使用氮气作为正压气源。

优选地，在上述的吹扫净化方法中，步骤04)中重复步骤02)和步骤03)20次-80次。

本发明提供了一种吹扫净化方法，该方法包括以下步骤：首先利用氮气将待处理设备及管道中原有的特种气体排出；然后对处于预设压力的待处理设备及管道进行抽真空；再次向待处理设备及管路中充入氮气，使其内部的压力恢复到预设压力；最后多次重复抽真空和充气步骤，直至待处理设备及管道中的特种气体含量降低到符合相关要求。

本发明提供了一种吹扫净化方法，适用于缺少《特种气体系统工程设计规范》中所要求的吹扫、排气及辅助抽真空系统的特气系统，实现了将特种气体系统设备内部残留的特种气体吹扫净化的目的，防止在拆卸原有的管道、阀门等组件时，泄露的特种气体对操作人员人身造成伤害。同时，也防止了泄露的特种气体腐蚀其他管道、阀门等。

一种吹扫净化装置，包括：

管路系统，管路系统包括顺次相连通的第一氮气接口、第一调压阀、第一单向阀、第一气动阀、第一压力表和接出口，及在第一单向阀后顺次连通的针阀、第四气动阀和接入口，针阀和第四气动阀之间的管路与第一排气接口相连通，和顺次相连通的第二氮气接口、第二调节阀、第二单向阀、第二气动阀、真空发生器和第二排气接口，第一气动阀和接出口之间的管路通过第三气动阀与真空发生器的吸入口相连通，第一单向阀和第一气动阀之间的管路通过第五气动阀与接入口相连通；

柜壳，柜壳为密封柜壳，管路系统固定设置在柜壳内。

优选地，在上述的吹扫净化装置中，还包括第三手动阀及与第三手动阀并联的第一手动阀、收集瓶和第二手动阀，其中，第三手动阀设置在连接第四气动阀和第五气动阀的管路与接入口之间；收集瓶为内壁经过酸洗钝化处理的不锈钢压力容器，收集瓶设置有入口管和泄放管，入口管伸入收集瓶的底部，泄放管伸入收集瓶0毫米-50毫米；第一手动阀设置在泄放管上，第二手动阀设置在入口管上。