[发明专利]一种吹扫净化方法及其装置

权利要求书

1.一种吹扫净化方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤01)利用充入的氮气将待处理设备及管路中原有的特种气体排出；

步骤02)将处于预设压力的所述待处理设备及管道抽真空；

步骤03)利用充入的氮气使所述待处理设备及管道达到所设预设压力；

步骤04)多次重复所述步骤02)和所述步骤03)，至所述待处理设备及管道中的特种气体浓度符合要求。

2.根据权利要求1所述的吹扫净化方法，其特征在于，所述步骤02)具体为，利用真空发生器将所述待处理设备及管道抽真空。

3.根据权利要求2所述的吹扫净化方法，其特征在于，所述真空发生器使用氮气作为正压气源。

4.根据权利要求1所述的吹扫净化方法，其特征在于，所述步骤04)中重复所述步骤02)和所述步骤03)20次-80次。

5.一种吹扫净化装置，其特征在于，包括：

管路系统，所述管路系统包括顺次相连通的第一氮气接口(01)、第一调压阀(11)、第一单向阀(21)、第一气动阀(31)、第一压力表(51)和接出口(05)，及在第一单向阀(21)后顺次连通的针阀(4)、第四气动阀(34)和接入口(06)，所述针阀(4)和所述第四气动阀(34)之间的管路与第一排气接口(02)相连通，和顺次相连通的第二氮气接口(03)、第二调节阀(12)、第二单向阀(22)、第二气动阀(32)、真空发生器(6)和第二排气接口(04)，所述第一气动阀(31)和所述接出口(05)之间的管路通过第三气动阀(33)与所述真空发生器(6)的吸入口相连通，所述第一单向阀(21)和所述第一气动阀(31)之间的管路通过第五气动阀(35)与所述接入口(06)相连通；

柜壳，所述柜壳为密封柜壳，所述管路系统固定设置在所述柜壳内。

6.根据权利要求5所述的吹扫净化装置，其特征在于，还包括第三手动阀(73)及与所述第三手动阀(73)并联的第一手动阀(71)、收集瓶(7)和第二手动阀(72)，其中，所述第三手动阀(73)设置在连接所述第四气动阀(34)和所述第五气动阀(35)的管路与所述接入口(06)之间；所述收集瓶(7)为内壁经过酸洗钝化处理的不锈钢压力容器，所述收集瓶(7)设置有入口管和泄放管，所述入口管伸入所述收集瓶(7)的底部，所述泄放管伸入所述收集瓶(7)0毫米-50毫米；所述第一手动阀(71)设置在所述泄放管上，所述第二手动阀(72)设置在所述入口管上。

7.根据权利要求5所述的吹扫净化装置，其特征在于，还包括过滤器(8)，所述过滤器(8)设置在所述第一调压阀(11)与所述第一单向阀(21)之间。

8.根据权利要求5所述的吹扫净化装置，其特征在于，还包括安全抽风系统，所述安全抽风系统包括顺序相连的干燥压缩空气接口(07)、第三调压阀(13)和第二压力表(52)，还包括设置在柜壳上的抽风装置(9)。

9.根据权利要求5-8中任一项所述的吹扫净化装置，其特征在于，还包括控制所述管路系统的控制系统。

10.根据权利要求9所述的吹扫净化装置，其特征在于，所述控制系统包括可编程逻辑控制器和与所述可编程逻辑控制器相连的触摸操作屏。