[发明专利]蒸汽收集

说明书

技术领域

本发明总地涉及蒸汽收集，并具体地涉及蒸汽的冷凝和收集。

背景技术

呈盘状的薄膜磁性和磁光(MO)介质通常用例如全氟聚醚的聚合物润滑剂的薄膜来润滑，以如在接触起停(“CSS”)和加载/卸载(“L/UL”)模式下起作用的硬盘系统中那样在与以低浮动高度运作的数据/信息记录和读出头/转换器一起使用时减少对盘的磨损。传统地，润滑剂的薄膜在制造过程中通过将具有形成于其上的一堆薄膜层(包括至少一层记录层)的盘浸入含有少量(例如小于含氟聚合物的约1％(重量))润滑剂的池中而敷加到盘表面上，这种润滑剂溶解于通常为全氟化碳、氟代烃或氢氟醚的合适的溶剂中。然而，这种浸入过程所固有的缺点是消耗大量的溶剂，从而导致增加制造成本以及涉及到与在工作场所内存在有毒的或者潜在有害的溶剂蒸汽有关的环境危害。

鉴于上述缺点，薄膜润滑剂的蒸汽沉积是浸渍润滑的一种有吸引力的替代方式。具体来说，润滑剂薄膜的蒸汽沉积是一种无溶剂过程。此外，当使用合适的聚合物润滑剂以及具有沉积表面的磁性和/或MO盘基材时，蒸汽沉积技术能提供高达约100％结合的润滑剂分子，该沉积表面由在润滑剂沉积于其上之前不接触空气的新沉积的碳基保护外涂层构成。

发明内容

在本发明的一方面，用于在物理蒸汽沉积过程中收集冷凝蒸汽的设备包括构造成与真空室内的一个或多个蒸汽源相邻放置的封壳。该封壳包括局部包封构造成容纳物体的空间体积的封壳内表面，其中封壳被保持在比一个或多个蒸汽源低的温度下。封壳的内表面连接到一个或多个排水沟。

附图说明

在附图中以示例而非限制方式来说明本发明的实施例，在附图中相同的附图标记表示相同的元件，且其中：

图1A和1B示出蒸汽润滑系统构造的不同实施例。

图2A示出根据一实施例的用于容纳和冷凝润滑剂蒸汽的设备的侧视图。

图2B示出图2A的设备的正视图。

图2C示出图2A的设备的俯视图。

具体实施方式

参见图1A，在用于盘驱动介质润滑剂的物理蒸汽沉积过程中，沉积系统120包括加热蒸汽源110内的液态润滑剂的热源101，热源和蒸汽源都容纳于真空室108内以产生润滑剂蒸汽。经加热的润滑剂可具有比环境温度下或低于环境温度下的润滑剂更高的蒸汽压力。润滑剂蒸汽从蒸汽源110经由加热的扩散板112内的一列孔流到真空室108内，在该真空室内未加热的物体可涂敷以润滑剂。蒸汽在真空条件下越过间隙并在未加热的物体表面上冷凝，该物体表面例如可以是盘。在一个实施例中，盘可从一侧通过单个经加热的蒸汽源110而暴露于流出的蒸汽。在另一实施例中，盘可使用两个经加热的蒸汽源从两侧暴露。设置扩散板112以在盘的表面上产生空间上均匀的薄膜。尽管孔列和蒸汽源110与盘之间的间隙设计成使蒸汽的瞄准沉积最大化，但蒸汽穿过扩散板12内的孔的流出本性导致大量润滑剂不沉积于盘表面上。这种未被利用的润滑剂可通常冷凝到真空室108的壁上或者可通过连接到真空室108的泵送系统来去除。在任一种情况下，润滑剂均没有在盘上被利用，并被认为损失掉了。除了由于未利用的润滑剂而造成的附加成本，在真空室108内冷凝的润滑剂或系统泵可具有其它诸如过早泵失效的不利作用。

参见图1B，在用于盘驱动介质润滑剂的物理蒸汽沉积过程中，沉积系统120’可包括沉积系统120的各元件中的一些或全部，但还包括封壳200。下面详细描述该封壳200。

图2A是用于容纳和收集润滑剂蒸汽的设备200的前视图，而这些润滑剂蒸汽不然就将沉积到容纳设备200的真空室108的壁上。在实施例中，设备200构造成与一个或多个蒸汽源110相对放置，蒸汽源110基本上面对物体的相对两侧，该物体可以例如是诸如磁性存储盘或磁光盘之类的盘。在实施例中，两个蒸汽源110彼此面对，而盘位于两个蒸汽源110之间。设备200包括可包封两个蒸汽源110之间的空间的封壳230，用于容纳盘。间隔件240的较小导热率可防止或阻碍蒸汽源110的热量加热封壳230。为了能够更有效地冷凝蒸汽，隔热的间隔件240可使封壳230的任一侧机械连接到对应的蒸汽源110，同时提供使封壳230与热蒸汽源110隔热的一种措施，并保持受限的间隙以减少会不期望地进入封壳230的蒸汽润滑剂的量。