[发明专利]蒸汽收集

权利要求书

1.一种用于在润滑剂的物理蒸汽沉积过程中收集冷凝蒸汽的设备，所述设备包括：

封壳，所述封壳构造成与真空室内的一个或多个蒸汽源相邻放置，所述封壳构造成保持在比所述一个或多个蒸汽源低的温度下，所述封壳包括：

局部包封空间体积的内表面，所述空间构造成容纳物体；以及

连接到所述封壳的所述内表面的一个或多个排水沟。

2.如权利要求1所述的设备，其特征在于，还包括在所述一个或多个蒸汽源中的每个蒸汽源与所述封壳之间的一个或多个隔热间隔件。

3.如权利要求2所述的设备，其特征在于，所述隔热间隔件包括小导热率的陶瓷。

4.如权利要求1所述的设备，其特征在于，所述封壳由具有不大于80瓦/米·开尔文的导热率的材料制成。

5.如权利要求1至4中任一项所述的设备，其特征在于，还包括连接到所述封壳的一个或多个导热板，热量经由所述导热板导出所述封壳。

6.如权利要求1至4中任一项所述的设备，其特征在于，所述封壳还包括上护罩和下护罩，每个护罩具有成形为引导冷凝蒸汽离开所述物体的内表面。

7.如权利要求6所述的设备，其特征在于，还包括上护罩沟，所述上护罩沟构造成引导冷凝蒸汽从所述上护罩的所述内表面离开所述物体和蒸汽源。

8.一种构造用于在润滑剂的物理蒸汽沉积过程中收集冷凝蒸汽的真空系统，所述系统包括：

构造成连接到真空泵送系统的室；

位于所述室内的一个或多个蒸汽源；

构造成与一个或多个蒸汽源相邻放置的封壳，所述封壳包括：

基本上包封空间体积的内表面，所述空间构造成容纳物体；以及

连接到所述封壳的所述内表面的一个或多个排水沟，

其中所述封壳由具有不大于80瓦/米·开尔文的导热率的材料制成；以及

位于所述一个或多个蒸汽源中的每个蒸汽源与所述封壳之间的一个或多个隔热间隔件。

9.如权利要求8所述的系统，其特征在于，还包括位于所述一个或多个蒸汽源中的每个蒸汽源与所述封壳之间的一个或多个隔热间隔件，所述隔热间隔件包括小导热率的陶瓷。

10.如权利要求8或9所述的系统，其特征在于，所述封壳还包括上护罩和下护罩，每个护罩具有成形为引导冷凝蒸汽离开物体的内表面。