[发明专利]一种蓝宝石衬底的清洗方法无效
| 申请号： | 201210101984.3 | 申请日： | 2012-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN102632055A | 公开（公告）日： | 2012-08-15 |
| 发明（设计）人： | 储耀卿;石剑舫;王善建;石晓鑫;朱文超 | 申请（专利权）人： | 江苏鑫和泰光电科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B7/04 | 分类号： | B08B7/04;B08B13/00 |
| 代理公司： | 常州市维益专利事务所 32211 | 代理人： | 路接洲 |
| 地址： | 213000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 蓝宝石 衬底 清洗 方法 | ||
1.一种蓝宝石衬底的清洗方法，是在蓝宝石衬底经过除有机杂质和无机金属杂质清洗后，再经过氢氮等离子体的清洗，其特征在于包括以下步骤：
(1)将蓝宝石衬底放置于电子纯的有机溶剂中用兆声波清洗10分钟；
(2)用电子级纯水对步骤(1)清洗后的蓝宝石衬底片以喷淋、溢流的方式清洗15分钟；
(3)用NH3·H2O∶H2O2∶H2O＝1∶1∶3～8的混合液对步骤(2)清洗后的蓝宝石衬底清洗10分钟；
(4)用电子级纯水对步骤(3)清洗后的蓝宝石衬底片以喷淋、溢流的方式清洗15分钟；
(5)用HCl∶H2O2∶H2O＝1∶1∶3～8的混合液对步骤(4)清洗后的蓝宝石衬底清洗10分钟；
(6)用电子级纯水对步骤(5)清洗后的蓝宝石衬底片以喷淋、溢流的方式清洗15分钟；
(7)用H2SO4和H3PO4的混合液对步骤(6)清洗后的蓝宝石衬底清洗10分钟；
(8)用电子级纯水对步骤(7)清洗后的蓝宝石衬底片以喷淋、溢流的方式清洗15分钟；
(9)用6N的N2气对步骤(8)清洗后的蓝宝石衬底片在甩干机机内甩干、吹干。
(10)经过步骤(9)清洗的蓝宝石衬底片放置于装配有反射高能电子衍射仪RHEED的电子回旋共振等离子体增强金属有机化学气相沉积ECR-PEMOCVD装置内，通入6N的N2和H2的混合气进行清洗。
2.如权利要求1所述的一种蓝宝石衬底的清洗方法，其特征在于：所述的步骤(7)中H2SO4和H3PO4的混合液的比例为1∶2～4；。
3.如权利要求1所述的一种蓝宝石衬底的清洗方法，其特征在于：所述的步骤(7)中的清洗温度为150℃～350℃。
4.如权利要求1所述的一种蓝宝石衬底的清洗方法，其特征在于：所述的步骤(10)中N2流量为30～200sccm，H2流量为0.2～2sccm，清洗时间为10～30分钟。
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