[发明专利]一种实验用校测装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种高、低真空检测装置，尤其是一种实验用高、低真空的校测的装置。

背景技术

目前的真空校测装置大都是单球体，能够实现单独的高真空校测或者低真空校测，但是难以实现两者的有机结合。目前的很多真空实验都对不同环境下的高、低真空校测提出了比较高的要求。除了大部分的高、低真空校测，也要求在一定条件下进行膨胀法校准功能。当同一个校准对象更换校准室的时候容易引起校测对象的部分变化，可能导致实验数据的不准。

所以，目前亟需一种能够选择性进行高真空校测、低真空校测，或者能够同时进行的校测装置。

发明内容

发明目的：针对现有技术的不足，我们经过长期的实践摸索，创造了一种全新的实验用校测装置。

技术方案：为了实现上述发明目的，本发明所采用的技术方案为：一种实验用校测装置，包括高真空室、低真空室、分子泵、储气罐和机械泵，所述高真空室与低真空室通过三通球形膨胀阀和小体积微调放气阀相连接，所述机械泵前端设有一个挡油阱。

所述高真空室后侧赤道左夹角90°处设有一只标准电离真空计，后侧赤道右夹角90°处设有一只备用法兰，所述高真空室上端设有三个管接头。所述低真空室后侧赤道左夹角60°处设有一只电容薄膜计，后侧赤道中央设有标准薄膜规，后侧赤道右夹角60°处设有一只标准压阻真空计，所述低真空室上端设有一只高真空挡板阀与三个管接头相连接。所述储气罐通过电磁阀与挡油阱相连接，所述机械泵前端设有一个电磁放气阀。

所述高真空室和低真空室用不锈钢制造，球体状，球体内径为350mm，壁厚为3mm，内外表面作电解抛光处理。

有益效果：本发明与现有技术相比，其有益效果是：1、本装置由高真空室和低真空室两个不锈钢球形机构组成，与单球结构相比，其优点是既可单独进行高真空计或低真空计的校准，又可同时进行高低真空计的校准，提高了工作效率，并且减少因低真空校准对以后进行高真空校准的影响；2、利用双球结构，增加了膨胀法的校准，可在(400～1×10^-2)Pa范围内对装置上的高、低标准真空计进行校准。

附图说明

附图为本发明一种实验用校测装置的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图，通过一个最佳实施例，对本技术方案进行详细说明，但是发明的保护范围不局限于所述实施例。为了表达得准确和叙述的简练，说明中省去了部分手动隔断阀，但是不影响本发明的完整性。

如图所示，一种实验用校测装置，包括高真空室1、低真空室2、分子泵10、储气罐9和机械泵7，所述高真空室1与低真空室2通过三通球形膨胀阀17和小体积微调放气阀16相连接，所述机械泵7前端设有一个挡油阱8。

所述高真空室1后侧赤道左夹角90°处设有一只标准电离真空计5，后侧赤道右夹角90°处设有一只备用法兰6，所述高真空室1上端设有三个管接头3。低真空室2后侧赤道左夹角60°处设有一只电容薄膜计14，后侧赤道中央设有标准薄膜规15，后侧赤道右夹角60°处设有一只标准压阻真空计13，所述低真空室2上端设有一只高真空挡板阀与三个管接头4相连接。

所述储气罐9通过电磁阀12与挡油阱8相连接，所述机械泵7前端设有一个电磁放气阀11。

高真空室1和低真空室2用不锈钢制造，球体状，球体内径为350mm，壁厚为3mm，内外表面作电解抛光处理。