[发明专利]一种实验用校测装置

权利要求书

1.一种实验用校测装置，包括高真空室(1)、低真空室(2)、分子泵(10)、储气罐(9)和机械泵(7)，其主要特征在于：所述高真空室(1)与低真空室(2)通过三通球形膨胀阀(17)和小体积微调放气阀(16)相连接，所述机械泵(7)前端设有一个挡油阱(8)。

2.根据权利要求1所述的一种实验用校测装置，其特征在于：所述高真空室(1)后侧赤道左夹角90°处设有一只标准电离真空计(5)，后侧赤道右夹角90°处设有一只备用法兰(6)，所述高真空室(1)上端设有三个管接头(3)。

3.根据权利要求1所述的一种实验用校测装置，其特征在于：所述低真空室(2)后侧赤道左夹角60°处设有一只电容薄膜计(14)，后侧赤道中央设有标准薄膜规(15)，后侧赤道右夹角60°处设有一只标准压阻真空计(13)，所述低真空室(2)上端设有一只高真空挡板阀与三个管接头(4)相连接。

4.根据权利要求1所述的一种实验用校测装置，其特征在于：所述储气罐(9)通过电磁阀(12)与挡油阱(8)相连接，所述机械泵(7)前端设有一个电磁放气阀(11)。

5.根据权利要求1所述的一种实验用校测装置，其特征在于：所述高真空室(1)和低真空室(2)用不锈钢制造，球体状，球体内径为350mm，壁厚为3mm，内外表面作电解抛光处理。