[发明专利]电性失效分析的测试方法及装置

说明书

技术领域

本发明涉及半导体领域，特别涉及半导体器件电性失效分析的测试方法及装置。

背景技术

在半导体器件的测试中，首先要做芯片测试，该测试结果是生产线上的良率。其次，就要对良率低的芯片做电性失效分析(Electrical failure analysis，EFA)，以找到导致良率低的原因。因此，在半导体器件的生产过程中，对芯片进行电性失效分析是提高生产线上良率的一种重要的分析方法。该方法能精确定位故障点的实际物理地址，以便于工程师借助更先进的工具，比如扫描电子显微镜(Scanning electron microscope，SEM)、聚焦离子束(Focused ion beam，FIB)和透射电镜(Transmission electron microscope，TEM)，进行更深入的物理分析，以找到导致故障的根源。

如图1所示，现有技术中，进行电性失效分析包括如下步骤：

步骤S101，需要测试工程师根据测试需求编写一个测试程序，测试程序往往包含多个测试项，不同的测试项对应不同的测试需求；

步骤S102，测试机加载和编译该测试程序，按照测试程序编写的顺序，各测试项被组成了一个固定的测试流；

步骤S103，依次执行各测试项，输出测试结果；

步骤S104，通常根据测试需求，需要多次修改测试流或测试参数以获得足够多的测试结果来做分析，在此进行判定，是否需要做上述修改；

步骤S105，由于各测试项的功能实现及参数值的给定都在测试程序编写时完成，所以要修改测试流或测试参数，就不得不对测试程序进行修改；

步骤S106，无需再修改测试流或测试参数的情况下，产生测试报告。

在实际操作中，电性失效分析的测试程序由测试工程师亲自编写。但有一些公司或基于保密考虑，具体的电性失效分析工作可能并非由测试工程师来完成，而是由产品工程师甚至客户来完成。也就是说，实际测试者对测试程序是怎样编写并被执行的所知甚少。这种情况下，如果测试过程中因需要修改测试流或测试参数而不得不对测试程序进行修改的话，他们自己是很难胜任的。他们只好求助测试工程师(即测试程序的编写者)修改测试程序。即便个别实际测试者有能力在某个测试平台下修改测试程序，要精通在各种不同的测试平台下修改测试程序仍是非常困难的，因为不同的测试平台有不同的编程方法。而通常，这样的修改在电性故障分析中是非常频繁的，也就意味着实际测试者无法独立完成测试工作，即便是修改一个参数，他也不得不求助于测试工程师修改测试程序，才能达到修改测试流或测试参数的目的。

另外，测试程序经过加载和编译，各测试项被组成了一个固定的测试流。若在测试过程中，需要对各测试项的运行顺序做修改，则需要对测试程序进行较大的改动才能实现。而且修改过的测试程序再次运行时，又要被重新加载和编译成二进制编码，以形成新的固定的测试流，测试效率低下。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是提供一种可以无需了解测试程序即可修改测试参数并且可以灵活改变测试流，无需反复加载和编译的电性失效分析测试方法和装置。

为了解决上述问题，本发明提供了一种电性失效分析的测试方法，包括以下步骤；

提供电性失效分析中各测试项的测试项函数；

根据电性失效分析的测试需求，确定电性失效分析的测试项，基于所述测试项形成测试项关联数据，所述测试项关联数据与所述测试项对应的测试项函数关联；

提供对应所述测试需求的测试文件，所述测试文件包括关联于测试项的测试项关联数据及对应所述测试项关联数据的测试参数；

运行所述测试文件，获取测试结果；

根据测试结果和测试需求，在需修改测试文件时，调整所述测试参数。

可选的，所述的测试文件还包括对应的测试项的运行顺序；在需修改测试文件时，还包括调整所述测试项的运行顺序。

可选的，所述的测试项函数以节点形式链接存储于一个函数链接表中，每个节点包含了测试项函数的名称和地址；运行测试文件时，测试项关联数据通过函数链接表中的测试项函数名称找到测试项函数地址，并调用相应的测试项函数。

可选的，所述的测试参数以节点形式链接存储在一个变量链接表中，每个节点包含了测试变量的变量名和变量值；所述的测试文件提供一个函数，通过变量链接表中测试变量的名称，获取相对应的参数值。