[发明专利]电性失效分析的测试方法及装置有效
| 申请号: | 201210093391.7 | 申请日: | 2012-03-31 |
| 公开(公告)号: | CN103364713A | 公开(公告)日: | 2013-10-23 |
| 发明(设计)人: | 周第廷;陆磊;张宇飞;谢振;陈宏领 | 申请(专利权)人: | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号: | G01R31/302 | 分类号: | G01R31/302 |
| 代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 骆苏华 |
| 地址: | 201203 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 失效 分析 测试 方法 装置 | ||
1.一种电性失效分析的测试方法,其特征在于,包括以下步骤:
提供电性失效分析中各测试项的测试项函数;
根据电性失效分析的测试需求,确定电性失效分析的测试项,基于所述测试项形成测试项关联数据,所述测试项关联数据与所述测试项对应的测试项函数关联;
提供对应所述测试需求的测试文件,所述测试文件包括关联于测试项的测试项关联数据及对应所述测试项关联数据的测试参数;
运行所述测试文件,获取测试结果;
根据测试结果和测试需求,在需修改测试文件时,调整所述测试参数。
2.如权利要求1所述的电性失效分析的测试方法,其特征在于,所述的测试文件还包括对应的测试项的运行顺序;在需修改测试文件时,还包括调整所述测试项的运行顺序。
3.如权利要求1所述的电性失效分析的测试方法,其特征在于,所述的测试项函数以节点形式链接存储于一个函数链接表中,每个节点包含了测试项函数的名称和地址;运行测试文件时,测试项关联数据通过函数链接表中的测试项函数名称找到测试项函数地址,并调用相应的测试项函数。
4.如权利要求1所述的电性失效分析的测试方法,其特征在于,所述的测试参数以节点形式链接存储在一个变量链接表中,每个节点包含了测试变量的变量名和变量值;所述的测试文件提供一个函数,通过变量链接表中测试变量的变量名,获取相对应的变量值。
5.如权利要求1所述的电性失效分析的测试方法,其特征在于,所述的测试方法通过基于C语言的测试平台运行所述测试文件,所述测试平台提供一测试程序,加载、编译并执行该测试程序,所述测试程序包括读取测试文件,并按测试文件执行相应操作。
6.一种电性失效分析的测试装置,其特征在于,包括:
选择单元,根据电性失效分析的测试需求,选择电性失效分析的测试项;
存储单元,存储测试项关联数据、测试项函数和测试参数,所述测试项关联数据与所述测试项对应的测试项函数关联;
编辑单元,根据选择单元所选择的测试项,从存储单元中获取对应的测试项关联数据,并根据所述测试需求,添加对应所述测试项关联数据的测试参数,以形成测试文件;
执行单元,执行测试文件,输出测试结果;
调整单元,根据执行测试文件获取的测试结果和所述测试需求,判断是否需修改测试文件,在需修改测试文件时,调整所述测试文件中的所述测试参数。
7.如权利要求6所述的电性失效分析的测试装置,其特征在于,所述的测试文件还包括对应的测试项的运行顺序;在需修改测试文件时,还包括调整所述测试项的运行顺序。
8.如权利要求6所述的电性失效分析的测试装置,其特征在于,所述存储单元还存储有函数链接表;所述的测试项函数以节点形式链接存储于所述函数链接表中,每个节点包含了测试项函数的名称和地址;运行测试文件时,对应的测试项的测试项关联数据通过函数链接表中的测试项函数名称找到测试项函数地址,并调用相应的测试项函数。
9.如权利要求6所述的电性失效分析的测试装置,其特征在于,所述存储单元还存储有变量链接表;所述的测试参数以节点形式链接存储在所述变量链接表中,每个节点包含了测试变量的变量名和变量值;所述的测试文件提供一个函数,通过变量链接表中测试变量的变量名,获取相对应的变量值。
10.如权利要求6所述的电性失效分析的测试装置,其特征在于,所述的测试装置包括基于C语言的测试平台。
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