[发明专利]微波少数载流子寿命测试仪专用测量夹具

说明书

技术领域

本发明涉及一种微波少数载流子寿命测试仪附件，尤其涉及一种微波少数载流子寿命测试仪专用测量夹具。

背景技术

目前，虽然可以通过测量半导体材料表面电导率激光照射前后微波阻抗的变化，测得材料的少数载流子寿命。但是，由于没有一种专用的夹具，导致整个测试装置结构复杂、使用不方便。

发明内容

本发明的目的是提供一种结构简单、使用方便的微波少数载流子寿命测试仪专用测量夹具。

本发明的目的是通过以下技术方案实现的：

本发明的微波少数载流子寿命测试仪专用测量夹具，包括一段90°的弯波导，所述弯波导的一端为微波反射计连接端，另一端为开口端，所述开口端设有被测材料的测试参考面，所述测试参考面设有抗流槽；

所述弯波导拐弯处的壁上设有小孔，所述小孔装有激光发射器，所述激光发射器的发射方向指向所述弯波导的开口端。

由上述本发明提供的技术方案可以看出，本发明提供的微波少数载流子寿命测试仪专用测量夹具，由于包括一段90°的弯波导，弯波导的一端为微波反射计连接端，另一端为开口端，开口端设有被测材料的测试参考面，测试参考面设有抗流槽；弯波导拐弯处的壁上设有小孔，小孔装有激光发射器，激光发射器的发射方向指向弯波导的开口端。可以通过测量半导体材料表面电导率激光照射前后微波阻抗的变化，测得材料的少数载流子寿命，结构简单、使用方便。

附图说明

图1为本发明实施例提供的微波少数载流子寿命测试仪专用测量夹具的结构示意图；

图2为本发明实施例中专用测量夹具的应用连接结构示意图。

图中：1、90°的弯波导，2、测试参考面，3、抗流槽，4、微波反射计连接端，5、小孔，6、激光发射器。

具体实施方式

下面将结合附图对本发明实施例作进一步地详细描述。

本发明的微波少数载流子寿命测试仪专用测量夹具，其较佳的具体实施方式是：

包括一段90°的弯波导，所述弯波导的一端为微波反射计连接端，另一端为开口端，所述开口端设有被测材料的测试参考面，所述测试参考面设有抗流槽；

所述弯波导拐弯处的壁上设有小孔，所述小孔装有激光发射器，所述激光发射器的发射方向指向所述弯波导的开口端。

所述激光发射器的发射中心线与所述弯波导的开口端的中心轴线重合。

所述小孔构成一段截止圆波导。

所述90°的弯波导可以为E面弯波导或H面弯波导。

所述微波反射计包括微波源，所述微波源通过定向器件与所述弯波导连接。所述定向器件的输出端通过检波器可以与示波器和/或计算机连接。

本发明的微波少数载流子寿命测试仪专用测量夹具，以波导开口端为测试参考面，可以通过测量半导体材料表面电导率激光照射前后微波阻抗的变化，测得材料的少数载流子寿命。

具体实施例：

如图1所示，测量夹具是一段90°的弯波导(E面弯或H面弯波导)，一端接微波反射计，一端为带有抗流槽的开口端，被测材料置于开口端(即测试参考面)。抗流槽保证被测材料表面与测试端面良好的电接触。

在正对测试端波导内拐弯处内壁的小孔中，装有激光发射器，实现对端接于测试端面半导体材料的激光(脉冲或连续波)照射。对所使用的微波频率，小孔相当于一段截止圆波导，不会造成微波泄漏及与激光器间的耦合。

如图2所示，微波反射计包括微波源、定向器件等，定向器件与本发明的专用测量夹具(或称传感器)和检波器分别连接。检波输出可以接示波器，根据激光照射前后波形变化读出少数载流子寿命；也可以接计算机通过数据采集和处理得到少数载流子寿命。

本发明的专用测量夹具可以涵盖所有矩形波导的各频段。

以上所述，仅为本发明较佳的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明披露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应该以权利要求书的保护范围为准。