[发明专利]微波少数载流子寿命测试仪专用测量夹具

权利要求书

1.一种微波少数载流子寿命测试仪专用测量夹具，其特征在于，包括一段90°的弯波导，所述弯波导的一端为微波反射计连接端，另一端为开口端，所述开口端设有被测材料的测试参考面，所述测试参考面设有抗流槽；

所述弯波导拐弯处的壁上设有小孔，所述小孔装有激光发射器，所述激光发射器的发射方向指向所述弯波导的开口端。

2.根据权利要求1所述的微波少数载流子寿命测试仪专用测量夹具，其特征在于，所述激光发射器的发射中心线与所述弯波导的开口端的中心轴线重合。

3.根据权利要求2所述的微波少数载流子寿命测试仪专用测量夹具，其特征在于，所述小孔构成一段截止圆波导。

4.根据权利要求1、2或3所述的微波少数载流子寿命测试仪专用测量夹具，其特征在于，所述微波反射计包括微波源，所述微波源通过定向器件与所述弯波导连接。

5.根据权利要求4所述的微波少数载流子寿命测试仪专用测量夹具，其特征在于，所述定向器件的输出端通过检波器与示波器和/或计算机连接。

6.根据权利要求1、2或3所述的微波少数载流子寿命测试仪专用测量夹具，其特征在于，所述90°的弯波导为E面弯波导或H面弯波导。