[发明专利]研磨用介质、研磨用介质的制造方法以及研磨方法有效
| 申请号： | 201210082931.1 | 申请日： | 2012-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN102732212A | 公开（公告）日： | 2012-10-17 |
| 发明（设计）人： | 石上秀树;中村英文;林纯一 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | C09K3/14 | 分类号： | C09K3/14;B22F3/22;B22F3/115;B24B31/02 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 余刚;吴孟秋 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 研磨 介质 制造 方法 以及 | ||
【权利要求书】：
1.一种研磨用介质，其特征在于，通过金属组织和陶瓷组织混合在一起的烧结体构成。
2.根据权利要求1所述的研磨用介质，其特征在于，在该研磨用介质的横截面上，将所述金属组织所占的面积设为1时，所述陶瓷组织所占的面积为0.1以上但不到1。
3.根据权利要求1或2所述的研磨用介质，其特征在于，该研磨用介质呈柱状或锥状。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的研磨用介质，其特征在于，所述陶瓷组织由氧化铝构成。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的研磨用介质，其特征在于，所述金属组织由钨构成。
6.根据权利要求1至5中任一项所述的研磨用介质，其特征在于，所述陶瓷组织由金属氧化物构成，并且所述金属组织中含有的金属元素的氧化反应的标准生成自由能比所述金属氧化物中含有的金属元素的氧化反应的标准生成自由能大。
7.根据权利要求1至6中任一项所述的研磨用介质，其特征在于，所述烧结体是通过注射成型法将金属粉末与陶瓷粉末的混合粉末成型、然后将所得的成型体烧结而成。
8.一种研磨用介质的制造方法，其特征在于，具有通过注射成型法将金属粉末与陶瓷粉末的混合粉末成型而得到成型体的工序和烧结所述成型体而得到烧结体的工序。
9.一种研磨方法，其特征在于，在滚筒研磨槽中搅拌通过陶瓷组织和金属组织混合在一起的烧结体构成的研磨用介质和被研磨物。
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