[发明专利]一种金砷合金靶材中砷量的测定方法

权利要求书

1.一种金砷合金靶材中砷量的测定方法，采用电感耦合等离子体发射光谱法测定金砷合金靶材中的砷量，包括如下步骤：

(1)样品的溶解：将金砷合金靶材样品用王水低温溶解，蒸至近干，加盐酸驱赶氮氧化物，得到样品溶液；

(2)将样品溶液以去离子水稀释，摇匀；

(3)将等离子体原子发射光谱仪开机预热半小时，开启循环水泵，打开分析控制软件，设置工作参数，功率为1.0～1.2Kw，雾化压力为46～55psi，最佳激发区在火炬12～18mm位置，选定砷193.695nm的谱线，点击“点火”按钮，形成稳定的等离子炬焰；

(4)依次测定标准曲线溶液，及样品溶液，在数据状态栏得出待测元素砷的浓度值，根据待测元素百分含量的计算公式求得砷元素百分含量。

2.根据权利要求1所述的金砷合金靶材中砷量的测定方法，其特征在于：所述样品的溶解为：称取0.1重量份金砷合金靶材样品，用8～10重量份的王水在50～60℃溶解，蒸至近干，加5重量份的盐酸驱赶氮氧化物，冷却，得到样品溶液。

3.根据权利要求1所述的金砷合金靶材中砷量的测定方法，其特征在于：砷质量分数在0.10％～0.40％时，将样品溶液转移到100mL容量瓶中，以去离子水稀释至刻度，摇匀；砷质量分数在0.40％～3.00％时，将样品溶液转移到100mL容量瓶中，以去离子水稀释至刻度，摇匀，然后再移取10.00mL上述溶液于100mL容量瓶中，以去离子水稀释至刻度，摇匀。

4.根据权利要求1所述的金砷合金靶材中砷量的测定方法，其特征在于：所述的功率为1.1Kw，雾化压力为50psi，最佳激发区在火炬15mm位置。