[发明专利]监测溶液加工能力的方法及装置、刻蚀系统

权利要求书

1.一种监测溶液加工能力的方法，其用于在溶液腐蚀被加工工件的流水生产线中监测所述溶液的加工能力是否满足工艺要求，其特征在于，包括以下步骤：

在所述溶液腐蚀所述被加工工件的流水生产线的设定位置上，用光线照射所述被加工工件；

获得设定位置处透过所述被加工工件的透射光的强度；

根据透过所述被加工工件的透射光的强度评估所述溶液的加工能力是否满足工艺要求。

2.根据权利要求1所述的监测溶液加工能力的方法，其特征在于，评估所述溶液的加工能力是否满足工艺要求的方式包括：

所述透射光的强度包括透射光的下限监测强度，用于监测溶液加工能力的下限；

比较所述透射光的下限监测强度与预设的标准透射光的强度的下限，若所述透射光的下限监测强度小于或等于所述预设的标准透射光的强度的下限，则表明所述溶液的加工能力偏低；或者，

根据所述透射光的下限监测强度获得透射光的下限监测透过率，比较所述透射光的下限监测透过率与预设的标准透射光的透过率的下限，若所述透射光的下限监测透过率小于或等于所述预设的标准透射光的透过率的下限，则表明所述溶液的加工能力偏低。

3.根据权利要求2所述的监测溶液加工能力的方法，其特征在于，评估所述溶液的加工能力是否满足工艺要求的方式还包括为：

所述透射光的强度还包括透射光的上限监测强度，用于监测溶液加工能力的上限；

比较所述透射光的上限监测强度与预设的标准透射光的强度的上限，若所述透射光的上限监测强度大于所述预设的标准透射光的强度的上限，则表明所述溶液的加工能力偏高；

或者，根据所述透射光的上限监测强度获得光的上限监测透过率，比较所述透射光的上限监测透过率与预设的标准透射光的透过率的上限，若所述透射光的上限监测透过率大于所述预设的标准透射光的透过率的上限，则表明所述溶液的加工能力偏高。

4.一种监测溶液加工能力的监测装置，其用于在溶液腐蚀被加工工件的流水生产线上监测所述溶液的加工能力是否满足工艺要求，其特征在于，包括：

光学监控单元，其用于在所述溶液腐蚀所述被加工工件的流水生产线的设定位置上，获得透过所述被加工工件的透射光的强度，并将获得的透过所述被加工工件的透射光的强度信号发送至分析单元；

分析单元，其根据接收到的所述光学监控单元获得的透过所述被加工工件的透射光的强度信号计算所述溶液的加工能力是否满足工艺要求。

5.根据权利要求4所述的监测溶液加工能力的监测装置，其特征在于，所述光学监控单元包括光发射装置和光接受装置，所述光发射装置与所述光接受装置相对地设置在所述被加工工件的两侧，其中，

所述光发射装置用于朝向所述被加工工件表面发出光；

所述光接受装置用于采集由所述光发射装置发出的透过所述被加工工件的透射光，并将其获得的透过所述被加工工件的透射光的强度信号发送至所述分析单元。

6.根据权利要求4所述的监测溶液加工能力的监测装置，其特征在于，所述分析单元包括：

信号接收子单元，其用于接收来自所述光学监控单元获得的透过所述被加工工件的透射光的强度信号；

计算子单元，其用于根据来自所述信号接收子单元的透射光的强度信号评估所述溶液的加工能力是否满足工艺要求；

信号发射子单元，其用于根据所述计算子单元计算的结果发出相应的溶液加工能力偏低或偏高的信号。

7.一种刻蚀系统，包括刻蚀液罐、监测装置以及被加工工件的传输系统，所述刻蚀液罐用于储存刻蚀液，监测装置用于监测所述刻蚀液的加工能力是否满足工艺要求，所述传输系统用于在刻蚀过程中传输被加工工件，其特征在于，所述监测装置采用权利要求5-6所述的监测溶液加工能力的监测装置。

8.根据权利要求7所述的刻蚀系统，其特征在于，还包括供给装置，所述供给装置用于根据所述监测装置的监测结果更换或添加刻蚀液。

9.根据权利要求7所述的刻蚀系统，其特征在于，包括两个所述监测装置，所述两个以上个监测装置设置在被加工工件的流水生产线上的不同位置，分别用于监测溶液加工能力的下限和上限。

10.根据权利要求8-9任意一项所述的刻蚀系统，其特征在于，所述的刻蚀系统用于显影工艺。