[发明专利]板状体的研磨装置

说明书

技术领域

本发明涉及板状体的研磨装置。

背景技术

板状体，特别是适用于液晶显示器用的玻璃板因其表面的微小的凹凸、波纹成为导致图像变形的原因，所以用研磨装置去除所述微小的凹凸、波纹。作为这种研磨装置，一般公知有如下研磨装置，将被托架保持的玻璃板压靠到设置于研磨平台的研磨垫上，并且使研磨平台及托架相对旋转而对玻璃板进行研磨。

专利文献1开示的研磨装置在膜体上安装有吸附保持玻璃板的吸附片，该膜体铺设于托架上。另外，向上述膜体和上述托架之间供给加压流体，被上述吸附片保持的玻璃板在上述加压流体的压力的作用下被按压于研磨垫。由此，根据专利文献1的研磨装置，由上述加压流体对玻璃板的各部分施加的压力为均匀的压力，因此具有能够一边平坦地研磨玻璃板一边去除玻璃板的表面的微小凹凸这种优点。

上述吸附片是发泡聚氨酯制，经由聚碳酸酯等中间片与上述膜体粘接，该中间片的拉伸方向的刚性设定得比上述吸附片的拉伸方向的刚性高。由此，在专利文献1的研磨装置中，吸附片不会从中间片剥离，所以具有可以防止吸附片剥离卷起这种优点。另外，膜体构成为由树脂层和纤维层构成的双层构造。

专利文献1：WO2007/020859号公报

但是，专利文献1的膜体具有直接接受加压流体并向玻璃板传递研磨压力的功能和在玻璃板的研磨中承受在相对旋转的玻璃板和研磨垫之间产生的研磨阻力的功能。即，膜体受到因加压流体而膨胀的方向的力及因研磨阻力而反复向拉伸方向伸缩的力。因此，膜体的寿命短，需要频繁的进行膜体的更换，因此，具有不能提高玻璃板的生产性这种问题。

发明内容

本发明是鉴于这种问题而开发的，其目的在于，提供一种可以提高板状体的生产性的板状体的研磨装置。

为了实现所述目的，本发明提供一种板状体的研磨装置，具有：板状体贴附部，其贴附板状体；板状体保持部，其保持所述板状体贴附部；及研磨件，其与所述板状体贴附部对向配置，对由所述板状体贴附部贴附的所述板状体的研磨面进行研磨，其中，所述板状体贴附部在所述研磨件的对向面具有平面部分，在该平面部分具备板状体的贴附部，所述平面部分由通过板状体保持部保持的板状部件构成，所述板状体的研磨装置具有加压流体供给单元，所述加压流体供给单元向所述板状部件和所述板状体保持部之间的空间供给加压流体。

根据本发明，首先，使板状体贴附在板状体贴附部的平面部分所具备的贴附部，接着，使该板状体贴附部被板状体保持部保持。而且，使板状体保持部和研磨件相对接近，将板状体按压在研磨件上，并且使板状体保持部及研磨件沿着板状体的研磨面相对移动，而对板状体的研磨面进行研磨。

在本发明中，因未使用膜体而对板状体进行研磨，所以能够提高板状体的生产性。板状体贴附部的平面部分因研磨阻力，反复受到向拉伸方向伸缩的力，所以优选为刚性高的金属制。另外，通过使用杨氏模量等弹性率大的金属或增加板厚，可以提高刚性。

另外，根据本发明，在从加压流体供给单元向板状部件和板状体保持部之间的空间供给加压流体时，贴附于所述贴附部的板状体由所述加压流体的压力而按压于研磨件。由此，根据本发明，由所述加压流体对板状体的各部分施加的压力为均匀的压力，所以可以一边平坦地研磨板状体一边去除板状体的表面的微小凹凸。

优选本发明的所述平面部分由通过所述板状体保持部保持的板状部件构成，在所述板状部件和所述板状体保持部之间的空间配置有安装于所述板状体保持部的膜体，所述板状体的研磨装置具有加压流体供给单元，所述加压流体供给单元向所述膜体和所述板状体保持部之间的空间供给加压流体。

根据本发明，在从加压流体供给单元向膜体和板状体保持部之间的空间供给加压流体时，因膜体膨胀，从而贴附于所述贴附部的板状体在所述加压流体的压力的作用下按压在研磨件上。由此，根据本发明，由所述加压流体对板状体的各部分施加的压力为均匀的压力，所以可以平坦地研磨板状体并去除板状体的表面的微小凹凸。

另外，本发明的板状体的研磨装置具有如现有的研磨装置那样的膜体，但本发明的膜体仅具备将板状体加压于研磨件的功能。即，就在研磨中生成的研磨阻力而言，是由板状体贴附部的平面部分(板状部件)承受。即，本发明使将板状体加压于研磨件的部件(膜体)和承受研磨阻力的部件(平面部分：板状部件)作为不同的部件，可以实现膜体的长寿命化。

本发明优选在所述板状体保持部与所述板状部件接触的部位具有密封部。

根据本发明，利用密封部防止从加压流体供给单元供给的加压流体的泄漏，因此能够高效地向板状体传递加压流体的压力。