[发明专利]板状体的研磨装置无效
| 申请号： | 201210068484.4 | 申请日： | 2012-03-15 |
| 公开（公告）号： | CN102672599A | 公开（公告）日： | 2012-09-19 |
| 发明（设计）人： | 女部田裕一;斋藤准一;中村英生;木村宏 | 申请（专利权）人： | 旭硝子株式会社 |
| 主分类号： | B24B37/30 | 分类号： | B24B37/30;B24B37/22 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 高培培;车文 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 板状体 研磨 装置 | ||
1.一种板状体的研磨装置，具有：
板状体贴附部，其贴附板状体；
板状体保持部，其保持所述板状体贴附部；及
研磨件，其与所述板状体贴附部对向配置，对由所述板状体贴附部贴附的所述板状体的研磨面进行研磨，其中，
所述板状体贴附部在所述研磨件的对向面具有平面部分，在该平面部分具备板状体的贴附部，
所述平面部分由通过所述板状体保持部保持的板状部件构成，
所述板状体的研磨装置具有加压流体供给单元，所述加压流体供给单元向所述板状部件和所述板状体保持部之间的空间供给加压流体。
2.如权利要求1所述的板状体的研磨装置，其中，
所述平面部分由通过所述板状体保持部保持的板状部件构成，
在所述板状部件和所述板状体保持部之间的空间配置有安装于所述板状体保持部的膜体，
所述板状体的研磨装置具有加压流体供给单元，所述加压流体供给单元向所述膜体和所述板状体保持部之间的空间供给加压流体。
3.如权利要求1或2所述的板状体的研磨装置，其中，
在所述板状体保持部与所述板状部件接触的部位具有密封部。
4.如权利要求1所述的板状体的研磨装置，其中，
所述平面部分由具有开口面的箱状体的平面部分构成，
所述箱状体经由所述开口面而由所述板状体保持部保持。
5.如权利要求4所述的板状体的研磨装置，其中，
具有加压流体供给单元，所述加压流体供给单元向所述箱状体和所述板状体保持部之间的空间供给加压流体。
6.如权利要求4所述的板状体的研磨装置，其中，
在所述箱状体和所述板状体保持部之间的空间配置有安装于所述板状体保持部的膜体，
所述板状体的研磨装置具有加压流体供给单元，所述加压流体供给单元向所述膜体和所述板状体保持部之间的空间供给加压流体。
7.如权利要求5或6所述的板状体的研磨装置，其中，
在所述板状体保持部与所述箱状体接触的部位具有密封部。
8.如权利要求1～6中任一项所述的板状体的研磨装置，其中，
所述平面部分水平地配置，在该平面部分的上方配置有所述研磨件。
9.如权利要求1～6中任一项所述的板状体的研磨装置，其中，
所述平面部分水平地配置，在该平面部分的下方配置有所述研磨件。
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