[发明专利]膜厚不均检查装置及方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种用以在彩色滤光片的制造步骤等之中，检查形成在玻璃或透光性树脂材料等的衬底上的彩色皮膜的厚度不均(所谓的膜厚不均)的装置及方法。

背景技术

以往已知有如下情况：在用于平板显示器的彩色滤光片的制造步骤等之中，由于颜料分散不均一、或因成分凝聚、成膜时振动的影响而产生的膜厚不均，导致色彩不均。为防止发生在产生所述膜厚不均的状态下继续制造作业的不良情况，而使用相机与透射照明，检查有无色彩不均及程度等(例如，专利文献1)。

进而，记载有如下技术：使用相机与反射照明，即便形成在衬底表面的层发生各种变化，也能与之对应地清晰地拍摄所产生的不均(例如，专利文献2)。

[先行技术文献]

[专利文献]

专利文献1：日本专利特开2006-234470号公报

专利文献2：日本专利特开2007-309718号公报

发明内容

[发明所要解决的问题]

各种色彩不均是因红色、蓝色、绿色等成膜中任一成膜的一部分包含膜厚不均一的部分(即，膜厚不均)而产生。所述各色成膜的膜厚不均检查是将作为检查对象的衬底与摄像部的角度变更，并根据该角度及检查对象，变更照明的种类、角度或位置而进行，但在膜厚不均难以检测时，若皮膜整体的膜厚(即，不存在膜厚不均的部分的膜厚，所谓的代表膜厚)不同，则有时无法充分获得膜厚不均的对比度。因此，在多次检查经成膜的皮膜的代表膜厚不同的衬底时，即便在相同摄像条件下检查各个衬底，有时也难以获得准确的检查结果。

因此，本发明的目的在于提供一种对于代表膜厚不同的同一品种的衬底，可基于共通的检查条件，根据代表膜厚的差异，获取明亮度及对比度适合检查的图像，从而获得准确检查结果的膜厚不均检查装置及方法。

[解决问题的手段]

为解决所述问题，技术方案1的发明是一种膜厚不均检查装置，其特征在于包括：

衬底移动部，保持着表面形成有皮膜的衬底使之移动；

光源部，对所述衬底照射光；

摄像部，对所述衬底的形成有皮膜的面的至少一部分进行摄像；及

检查部，基于由所述摄像部拍摄的图像，检查所述皮膜的厚度不均；且

一面使所述衬底在一方向上移动，一面检查形成在所述衬底的皮膜的厚度不均，

该膜厚不均检查装置包含：

检查条件登记部，对与检查对象品种对应的检查条件进行设定登记；及

代表膜厚检测部，检测形成在所述衬底的皮膜的代表膜厚；

所述光源部具备：

反射照明部，配置在所述摄像部侧，且对所述衬底照射光；及

透射照明部，配置在隔着所述衬底而和所述摄像部对向的位置，且对所述衬底照射光；

在所述摄像部中，包含调节所述摄像部和所述衬底的相对角度的摄像角度调整部，

在所述反射照明部中，包含调节所述反射照明部和所述衬底的相对角度的反射照明角度调整部，

在所述透射照明部中，包含调节所述透射照明部和所述衬底的相对角度的透射照明角度调整部，

该膜厚不均检查装置包括控制部，该控制部可基于登记在所述检查条件登记部的检查条件、与来自所述代表膜厚检测部的代表膜厚信息，控制所述摄像部角度调整部、所述反射照明角度调节部、及所述透射照明角度调整部，调节所述反射照明的光量及所述透射照明的光量。

技术方案5的发明是一种膜厚不均检查方法，其特征在于包括：

衬底移动步骤，保持着表面形成有皮膜的衬底使之移动；

摄像步骤，自光源部对所述衬底照射光，拍摄所述衬底的形成有皮膜的面的至少一部分；及

检查步骤，基于由所述摄像部拍摄的图像，检查所述皮膜的厚度不均；且

一面使所述衬底在一方向上移动，一面检查形成在所述衬底的皮膜的厚度不均，且

该膜厚不均检查方法包括：

检查条件登记步骤，对与检查对象品种对应的检查条件进行设定登记；及

代表膜厚检测步骤，检测形成在所述衬底的皮膜的代表膜厚；

所述光源部构成为包括：

反射照明部，配置在所述摄像部侧，且对所述衬底照射光；及

透射照明部，配置在隔着所述衬底而和所述摄像部对向的位置，且对所述衬底照射光；

所述摄像步骤是基于登记在所述检查条件登记部的检查条件、和所述代表膜厚检测步骤中检测出的代表膜厚信息，包括

调节所述摄像部和所述衬底的相对角度的摄像部角度调整步骤、