[发明专利]膜厚不均检查装置及方法

权利要求书

1.一种膜厚不均检查装置，其特征在于包括：

衬底移动部，保持着表面形成有皮膜的衬底使之移动；

光源部，对所述衬底照射光；

摄像部，对所述衬底的形成有皮膜的面的至少一部分进行摄像；及

检查部，基于由所述摄像部拍摄的图像，检查所述皮膜的厚度不均；且

一面使所述衬底在一方向上移动，一面检查形成在所述衬底的皮膜的厚度不均，

该膜厚不均检查装置包含：

检查条件登记部，对与检查对象品种对应的检查条件进行设定登记；及

代表膜厚检测部，检测形成在所述衬底的皮膜的代表膜厚；

所述光源部具备：

反射照明部，配置在所述摄像部侧，且对所述衬底照射光；及

透射照明部，配置在隔着所述衬底而和所述摄像部对向的位置上，且对所述衬底照射光；

在所述摄像部中，包含调节所述摄像部和所述衬底的相对角度的摄像角度调整部，

在所述反射照明部中，包含调节所述反射照明部和所述衬底的相对角度的反射照明角度调整部，

在所述透射照明部中，包含调节所述透射照明部和所述衬底的相对角度的透射照明角度调整部，

该膜厚不均检查装置包括控制部，该控制部可基于登记在所述检查条件登记部的检查条件、与来自所述代表膜厚检测部的代表膜厚信息，控制所述摄像部角度调整部、所述反射照明角度调整部、及所述透射照明角度调整部，调节所述反射照明的光量及所述透射照明的光量。

2.根据权利要求1所述的膜厚不均检查装置，其特征在于包含：对同一所述衬底的重复检查次数进行计数的计数部，且

具备：根据所述计数次数，变更所述摄像部的角度或所述照明的光量的功能。

3.根据权利要求2所述的膜厚不均检查装置，其特征在于：

所述检查部包含对经所述重复检查的各个图像进行多重合成处理的图像处理部，且

具备：基于将经所述合成处理的图像进行多重合成所得的多重合成图像，检查膜厚不均的多重合成图像检查功能。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的膜厚不均检查装置，其特征在于：

将所述摄像部和所述透射照明连结，且

所述摄像部角度调整部兼作所述透射照明角度调整部。

5.一种膜厚不均检查方法，其特征在于包括：

衬底移动步骤，保持着表面形成有皮膜的衬底使之移动；

摄像步骤，自光源部对所述衬底照射光，拍摄所述衬底的形成有皮膜的面的至少一部分；及

检查步骤，基于由所述摄像部拍摄的图像，检查所述皮膜的厚度不均；且

一面使所述衬底在一方向上移动，一面检查形成在所述衬底的皮膜的厚度不均，

该膜厚不均检查方法包括：

检查条件登记步骤，对与检查对象品种对应的检查条件进行设定登记；及

代表膜厚检测步骤，检测形成在所述衬底的皮膜的代表膜厚；

所述光源部构成为包括：

反射照明部，配置在所述摄像部侧，且对所述衬底照射光；及

透射照明部，配置在隔着所述衬底而和所述摄像部对向的位置上，且对所述衬底照射光；

所述摄像步骤是基于登记在所述检查条件登记部的检查条件、和所述代表膜厚检测步骤中检测出的代表膜厚信息，包括

调节所述摄像部和所述衬底的相对角度的摄像部角度调整步骤、

调节所述反射照明部和所述衬底的相对角度的反射照明角度调整步骤、

调节所述透射照明部和所述衬底的相对角度的透射照明角度调整步骤、及

调节所述反射照明或所述透射照明的光量的光量调节步骤。

6.根据权利要求5所述的膜厚不均检查方法，其特征在于具有：

计数步骤，对同一所述衬底的重复检查次数进行计数；

重复检查步骤，对同一所述衬底检查至少两次以上；及

根据所述计数次数，变更所述摄像部的角度或所述照明的光量的步骤。

7.根据权利要求6所述的膜厚不均检查方法，其特征在于更具有：

图像获取步骤，在所述重复检查步骤中，获取各个图像；

多重合成处理步骤，对所述获取的各个图像进行多重合成处理；及

多重合成图像检查步骤，基于经所述多重合成处理的图像，检查膜厚不均。