[发明专利]折断装置及折断方法

权利要求书

1.一种脆性材料基板的折断装置，其特征在于其由用来将形成有划线的脆性材料基板以形成有当该划线的面朝上的姿势加以装载的装载台、将该脆性材料基板在该装载台上保持于定位置的保持手段、及配置在该装载台上方的吸引垫构成；

该吸引垫具备于其下面侧产生朝上的吸引作用的减压空间部、及挟着此减压空间部至少从左右两侧的部位喷出朝下的空气的喷出孔，借由该吸引垫的减压空间部产生的朝上的吸引作用于划在线进行吸引，并以从该喷出孔喷出的空气将该划线的左右两侧部分向下方按压，据以折断该脆性材料基板。

2.如权利要求1所述的脆性材料基板的折断装置，其特征在于该吸引垫具备朝下开口的空气吸引孔，借由从此空气吸引孔吸引空气据以形成该减压空间部。

3.如权利要求1所述的脆性材料基板的折断装置，其特征在于该吸引垫在下面形成有凹部，在该凹部中央形成具有以越往下方直径越细的方式形成的圆锥状侧面的圆柱状突部，从该喷出孔吹出的空气撞击该圆锥状侧面后即形成朝下方一边回旋一边下降的回旋下降流，借由当该回旋下降流形成的气旋效果在该凹部中央形成该减压空间部。

4.如权利要求1至3中任一权利要求所述的脆性材料基板的折断装置，其特征在于该吸引垫形成为可相对装载了脆性材料基板的装载台，沿划线的方向相对移动。

5.如权利要求1或2中任一权利要求所述的脆性材料基板的折断装置，其特征在于该吸引垫是以沿划线延伸的长条体形成。

6.如权利要求1至3中任一权利要求所述的脆性材料基板的折断装置，其特征在于脆性材料基板的保持手段包含形成于该装载台的多数个吸附孔或多孔质板，借由来自此吸附孔或多孔质板的吸引空气吸附保持脆性材料基板，此吸附孔或多孔质板的脆性材料基板的吸附力，至少在吸引垫的动作时设定为在容许脆性材料基板的倒V字形弯曲的范围内。

7.一种脆性材料基板的折断方法，其特征在于其将形成有划线的脆性材料基板以设有该划线的面朝上的方式装载于装载台上并保持于定位置；

将下面侧具备可产生朝上吸引作用的减压空间部与夹着此减压空间部至少从左右两侧的部位喷出朝下的空气的喷出孔的吸引垫，以该下面朝向装载台上的脆性材料基板的方式配置在装载台上方；

借由该吸引垫的该减压空间部产生的朝上的吸引作用，吸引形成在该脆性材料基板的划线的上方部分，并以从该喷出孔喷出的空气按压划线的左右两侧部分，据以折断该脆性材料基板。