[发明专利]具有改进的热稳定性的传感器

说明书

技术领域

本公开大体涉及传感器，且更具体地，涉及包括加热器电阻器和/或一个或多个传感器电阻器的传感器。

背景技术

传感器被用于多种应用中。有些传感器包括加热器电阻器和/或一个或多个传感器电阻器。这样的传感器可能包括一些流量传感器、一些热传导传感器、一些化学传感器、和/或其它类型传感器。在一些环境下，这样的传感器可能变得热不稳定，这可能影响它们的准确度和/或可靠性。例如，当传感器包括具有正电阻温度系数(TCR)的加热器电阻器，并且由恒流电源驱动时，加热器电阻器的温度会升高，这随后可能导致该加热器电阻器的电阻进一步增大，这可使该加热器电阻器的温度进一步升高，等等。这种循环通常可导致该加热器电阻器和/或该传感器的损坏。

发明内容

本公开大体涉及传感器，且更具体地，涉及包括加热器电阻器和/或一个或多个传感器电阻器的传感器。在一示例性实施例中，传感器可以包括加热器电阻器、第一感测电阻器、和第二感测电阻器(由衬底支承)。在一些情况下，该加热器电阻器可以被配置为具有零或者接近零的电阻温度系数(TCR)，在一些情况下，这可有助于增强传感器的热稳定性和/或可靠性。在一些实施例中，该加热器电阻器可能包括掺杂有第一浓度掺杂剂的多晶硅材料以实现该零或接近零的电阻温度系数(TCR)。第一和/或第二感测电阻器可以被配置为比该加热器电阻器具有更高的电阻温度系数(TCR)。在一些情况下，具有第二更高浓度的掺杂剂和/或不同掺杂材料的多晶硅材料可被用于第一和第二感测电阻器以实现更高电阻温度系数，但这不被要求。其它的材料也可用于第一和第二感测电阻器。

提供前述的发明内容以帮助理解本公开的一些特征，并不意图作为完整描述。通过整体理解整个说明书、权利要求书、附图和摘要可以得到本公开的完整理解。

附图说明

结合附图参考本公开各种示例性实施例的以下详细描述可以更完整理解本公开，其中：

图1是示例性的流量感测管芯(flow sensing die)的示意性的顶视图；

图2是图1中示例性的流量感测管芯沿着线2-2取的示意性的剖视图；

图3是另一个示例性的流量传感器管芯的示意性的顶视图；

图4是图3中示例性的流量传感器管芯沿着线4-4取的示意性的剖视图；

图5A-B是示出制造图1所示的流量感测管芯的示例性方法的剖视图；以及

图6A-C是示出制造图1所示的流量感测管芯的另一个示例性方法的剖视图。

具体实施方式

以下描述应该参考附图进行阅读，其中在几个示图中相同的附图标记指示相同的元件。描述和附图示出了几个实施例，其意指对本公开的例示，而不是限制。

图1和图2是用于测量沿流向经过流体通道的流体的流体流量的流量感测管芯100的示例性实施例的示意性顶视图和剖视图，所述流体通道可以穿过空隙(void)110设置在流量感测管芯100的底部或者设置在流量感测管芯100的顶部。虽然流量传感器用作示例，设想的是，本公开可以用于任何合适的传感器(其包括例如加热器电阻器和/或一个或多个传感器电阻器)中。这样的传感器视需要可以包括，例如，一些流量传感器，一些热传导传感器，一些化学传感器，和/或其它类型的传感器。同样，取决于应用，这里所用的术语“流体”可以指气体或液体。在图1的示例性实施例中，流量感测管芯100可以暴露于和/或布置在流体通道内以测量流体流的一个或多个属性。例如，该流量感测管芯100可以是用于测量流体流的质量流量和/或速度的流量传感器。