[发明专利]喷墨头和图像形成装置

说明书

技术领域

本发明的实施例涉及一种使用压电元件的喷墨头，以及一种使用喷墨头的图像形成装置。

背景技术

作为使用压电元件增加喷墨头密度的技术，使用微机电系统(MEMS)的技术已经被公开，例如，如同在专利文件1(日本未审公开申请说明书No.2011-000714)中所示的。也就是说，通过使用半导体装置生产技术来形成更微型的激励器和流体通道，使得喷墨头中的喷嘴密度能够得到提高。因此，喷墨头可以尺寸减小，并且喷墨头更高程度的集成能够被实现。

发明内容

在一方面，提供了一种喷墨头，其具有多个形成有隔断壁的独立液体腔，每个独立液体腔都具有液滴排出孔；振动板，其连接至多个独立液体腔的表面，多个独立液体腔的表面不同于提供有液滴排出孔的表面；多个压电元件，其设置在振动板上对应于多个独立液体腔的位置，每一个压电元件通过在振动板上将下电极、压电材料和上电极按顺序层压而形成，其中下电极是公共电极，并且上电极是独立电极；布线连接至下电极的公共电极；以及独立电极布线，其独立地且传导地连接至多个压电元件中相对应的上电极，其中驱动信号被单独输入相对应的独立电极布线。喷墨头进一步包括上层绝缘膜，其至少涂布于公共电极布线和独立电极布线的表面；中间层绝缘膜，其至少提供于独立电极布线和下电极之间，位于独立电极布线和下电极重叠的区域，中间层绝缘膜是上层绝缘膜的下层；以及下层绝缘膜，其至少涂布于压电元件的表面，下层绝缘膜是中间层绝缘膜的下层。中间层绝缘膜和上层绝缘膜具有用于露出压电元件的开口。

在另一方面，提供了一种图像形成装置，其具有喷墨头，该喷墨头具有多个形成有隔断壁的独立液体腔，每个独立液体腔都具有液滴排出孔；振动板，其连接至多个独立液体腔的表面，多个独立液体腔的表面不同于提供有液滴排出孔的表面；多个压电元件，其设置在振动板上对应于多个独立液体腔的位置，每一个压电元件通过在振动板上将下电极、压电材料和上电极按顺序层压而形成，其中下电极是公共电极，并且上电极是独立电极；连接至下电极的公共电极布线；以及独立电极布线，其独立地且传导地连接至多个压电元件中相对应的上电极，其中驱动信号被单独输入相对应的独立电极布线。喷墨头进一步包括上层绝缘膜，其至少涂布于公共电极布线和独立电极布线的表面；中间层绝缘膜，其提供于独立电极布线和下电极之间，至少位于独立电极布线和下电极重叠的区域，中间层绝缘膜是上层绝缘膜的下层；以及下层绝缘膜，其至少涂布于压电元件的表面，下层绝缘膜是中间层绝缘膜的下层。中间层绝缘膜和上层绝缘膜具有用于露出压电元件的开口。

根据实施例，喷墨头包括上层绝缘膜，其至少涂布于独立电极布线的表面；中间层绝缘膜，其提供于独立电极布线和下电极之间，至少位于独立电极布线和下电极重叠的区域，中间层绝缘膜是上层绝缘膜的下层；以及下层绝缘膜，其至少涂布于压电元件的表面，下层绝缘膜是中间层绝缘膜的下层。此外，中间层绝缘膜和上层绝缘膜具有用于露出压电元件的开口。因此，由在喷墨头的制造过程半导体处理中的等离子体或者由装置使用环境中空气中的湿气所导致的压电材料的恶化能够被避免，并且压电元件充分的形变量可以被保证。此外，由于对诸如独立电极的布线没有限制，因此可以实现更高的集成度。

根据实施例，图像形成装置包括喷墨头。由于图像形成装置通过喷墨头的液滴排出孔稳定地排出墨滴，因此能够稳定地形成高质量的图像。此外，图像形成过程中的失败率减少，并且实现了成本的降低。

当结合附图来阅读时，本发明其它的目的、特征和优点将通过下文中详细的描述变得更加明显。

附图说明

图1是示出根据一个实施例的喷墨头的结构的透视图；

图2是沿宽度方向示出根据该实施例的喷墨头的结构的剖视图；

图3是沿纵向示出图2中的喷墨头的结构的剖视图；

图4是沿纵向示出图2中的喷墨头的结构的剖视图；

图5是沿宽度方向示出根据该实施例的喷墨头的结构的剖视图；

图6是示出利用根据实施例的喷墨头的液体盒的外部视图；

图7是喷墨记录装置的外部视图，所述喷墨记录装置是根据该实施例图像形成装置；以及

图8是示出喷墨记录装置的机械部分的结构的剖视图。

具体实施方式