[发明专利]喷墨头和图像形成装置

权利要求书

1.一种喷墨头，其包括：

多个形成有隔断壁的独立液体腔，每个独立液体腔都具有液滴排出孔；

振动板，所述振动板连接至多个独立液体腔的表面，多个独立液体腔的表面不同于提供有液滴排出孔的表面；

多个压电元件，所述多个压电元件设置在振动板上对应于多个独立液体腔的位置，每一个压电元件通过在振动板上将下电极、压电材料和上电极按顺序层叠而形成，其中下电极是公共电极，并且上电极是独立电极；

连接至下电极的公共电极布线；并且

独立电极布线，该独立电极布线独立地且传导地连接至多个压电元件中相对应的上电极，其中驱动信号被单独输入相对应的独立电极布线，

其中喷墨头包括

上层绝缘膜，该上层绝缘膜至少涂布于公共电极布线和独立电极布线的表面；

中间层绝缘膜，该中间层绝缘膜提供于独立电极布线和下电极之间，至少位于独立电极布线和下电极重叠的区域，中间层绝缘膜是上层绝缘膜的下层；以及

下层绝缘膜，该下层绝缘膜至少涂布于压电元件的表面，下层绝缘膜是中间层绝缘膜的下层，并且

其中中间层绝缘膜和上层绝缘膜具有用于露出压电元件的开口。

2.根据权利要求1所述的喷墨头，其中下层绝缘膜是保护压电元件免受在喷墨头的制造过程中等离子体的影响并且免受在喷墨头使用环境中的湿气的影响的保护膜。

3.根据权利要求2所述的喷墨头，其中下层绝缘膜是由包括Al₂O₃、ZrO₂、Y₂O₃、Ta₂O₅和TiO₂中的至少一种的无机材料所形成的薄膜。

4.根据权利要求3所述的喷墨头，其中下层绝缘膜的厚度在20nm至100nm的范围内。

5.根据权利要求1所述的喷墨头，其中中间层绝缘膜是位于独立电极布线和下电极之间的层间绝缘层。

6.根据权利要求5所述的喷墨头，其中中间层绝缘膜由SiO₂形成。

7.根据权利要求6所述的喷墨头，其中中间绝缘膜的厚度大于或等于200nm。

8.根据权利要求1所述的喷墨头，其中上层绝缘膜是保护公共电极布线和独立电极布线免受喷墨头使用环境的影响的钝化膜。

9.根据权利要求8所述的喷墨头，其中上层绝缘膜由Si₃N₄形成。

10.根据权利要求9所述的喷墨头，其中上层绝缘膜的厚度大于或等于200nm。

11.根据权利要求8所述的喷墨头，其中上层绝缘膜的厚度大于中间层绝缘膜的厚度。

12.根据权利要求1所述的喷墨头，其中开口的宽度大于每一个压电元件的宽度，并且开口的宽度小于每一个独立液体腔的宽度。

13.一种图像形成装置，其具有

喷墨头，该喷墨头包括：

多个形成有隔断壁的独立液体腔，每个独立液体腔都具有液滴排出孔；

振动板，该振动板连接至多个独立液体腔的表面，多个独立液体腔的表面不同于提供有液滴排出孔的表面；

多个压电元件，所述多个压电元件设置在振动板上对应于多个独立液体腔的位置，每一个压电元件通过在振动板上将下电极、压电材料和上电极按顺序层叠而形成，其中下电极是公共电极，并且上电极是独立电极；

连接至下电极的公共电极布线；并且

独立电极布线，该独立电极布线独立地且传导地连接至多个压电元件中相对应的上电极，其中驱动信号被单独输入相对应的独立电极布线，

其中喷墨头包括

上层绝缘膜，该上层绝缘膜至少涂布于公共电极布线和独立电极布线的表面；

中间层绝缘膜，该中间层绝缘膜提供于独立电极布线和下电极之间，至少位于独立电极布线和下电极重叠的区域，中间层绝缘膜是上层绝缘膜的下层；以及

下层绝缘膜，该下层绝缘膜至少涂布于压电元件的表面，下层绝缘膜是中间层绝缘膜的下层，并且

其中中间层绝缘膜和上层绝缘膜具有用于露出压电元件的开口。