[发明专利]一种高精度的旋转装置

权利要求书

1.一种高精度旋转装置，包括安装底板和旋转面板，其特征在于：还包括固定于所述安装底板和所述旋转面板之间的气浮旋转轴承、推动所述气浮旋转轴承转动的驱动装置和用于测量所述驱动装置直线位移的长度计，所述气浮旋转轴承设有一连接件。

2.如权利要求1所述的一种高精度旋转装置，其特征在于：所述长度计固定于所述驱动装置推动方向的一侧，并且所述长度计的测量端头与所述气浮旋转轴承的连接件点接触。

3.如权利要求1所述的一种高精度旋转装置，其特征在于：还包括一对提供所述气浮旋转轴承逆向旋转力矩的弹簧组件，所述一对弹簧组件分别置于所述气浮旋转轴承径向相对的两侧，所述弹簧组件包括弹簧以及将所述弹簧分别固定于所述安装底板和所述旋转面板的支架。

4.如权利要求1所述的一种高精度旋转装置，其特征在于：所述驱动装置包括电机组件和与所述电机组件连接的丝杆组件，所述电机组件包括一步进电机以及将所述步进电机固定于所述安装底板的步进电机座。

5.如权利要求4所述的一种高精度旋转装置，其特征在于：所述丝杆组件包括丝杆、丝杆螺母、丝杆座以及直线导轨；所述丝杆螺母套置于所述丝杆内且与所述丝杆座固定连接，所述丝杆座固定于所述直线导轨上，所述丝杆一端与所述步进电机连接，另一端固定于所述丝杆座内。

6.如权利要求5所述的一种高精度旋转装置，其特征在于：所述丝杆座上还设有一接触头，所述接触头与所述气浮旋转轴承的连接件点接触。

7.如权利要求4或5所述的一种高精度旋转装置，其特征在于：所述驱动装置还包括两限位块，所述限位块分别置于所述直线导轨直线运动方向的两侧。