[发明专利]分离方法以及分离装置

权利要求书

1.一种分离方法，其特征在于，从至少含有氢氟酸、氟氢化铵、硅以及水的混酸中分离出所述氢氟酸，其包括：

第一蒸馏工序，通过对所述混酸进行蒸馏，从而回收含有所述氢氟酸以及水的第一液体以作为馏出液，并回收含有所述氟氢化铵以及所述硅的第二液体以作为残留液；

第二蒸馏工序，通过对所述第一液体进行蒸馏，从而从所述第一液体中主要分离出所述水，进而回收与所述第一液体相比所述氢氟酸的浓度较高的第三液体以作为残留液。

2.如权利要求1所述的分离方法，其中，

将所述第二蒸馏工序中的所述第一液体的加热温度设为，低于所述第一蒸馏工序中的所述混酸的加热温度的设定温度。

3.如权利要求1或权利要求2所述的分离方法，其中，

从所述第二液体中结晶含有所述氟氢化铵以及所述硅的固体，

并且将从所述第二液体中分离了所述固体而得的第四液体、与所述混酸一起再次通过所述第一工序而进行处理。

4.如权利要求1或权利要求2所述的分离方法，其中，

所述第一蒸馏工序在对所述混酸进行搅拌的同时进行。

5.如权利要求1所述的分离方法，其中，

包括分离工序，从含有所述氟氢化铵以及所述硅、且从所述第二液体中结晶出的固体中，分离所述氟氢化铵。

6.如权利要求5所述的分离方法，其中，

在所述分离工程中，通过结晶法而从所述固体中分离所述氟氢化铵。

7.如权利要求5所述的分离方法，其中，

在所述分离工序中，包括：第一结晶工序，所述第一结晶工序通过准备使所述固体溶解的溶液，并使所述溶液冷却至预定温度来进行；第二结晶工序，所述第二结晶工序在低于所述第一结晶工序的温度的温度下进行。

8.如权利要求1或权利要求2所述的分离方法，其中，

所述混酸为，通过对含有硅的材料进行蚀刻处理而产生的蚀刻废液。

9.一种分离装置，其特征在于，

应用了权利要求1、2、5中任意一项所述的分离方法。